陕西省自然科学基金(2007E208)
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
- 相关作者：王彩琳张建仙孙永生高勇刘静更多>>
- 相关机构：西安理工大学微电子有限公司更多>>
- 发文基金：陕西省自然科学基金博士科研启动基金陕西省教育厅科研计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 门极换流晶闸管(GCT)击穿机理的研究被引量：1
- 2008年
- 简述了门极换流晶闸管(GCT)的耐压结构及其特点。利用MEDICI软件模拟和分析了具有不同结构参数的四种器件的阻断能力和通流能力,研究了GCT的击穿机理。结果表明,GCT的击穿实质上属于场阻止(FS)型击穿,并非穿通(PT)型击穿。从而指出以往对GCT击穿机理的认识存在局限性。
- 王彩琳高勇马丽刘静
- 关键词：电力半导体器件门极换流晶闸管透明阳极击穿
- 门极换流晶闸管(GCT)新结构的设计
- 本文在分析传统GCT结构、工作原理及其制作工艺的基础上,提出了一种改进型GCT结构。借助MEDICI软件模拟了两种GCT结构的阻断、导通及开关特性。并对其制作工艺进行了分析比较。结果表明,采用新结构不仅可以获得类似于传统...
- 王彩琳高勇
- 关键词：电力半导体器件门极换流晶闸管特性设计
- 文献传递
- 5kV非对称GCT的特性分析与设计被引量：2
- 2008年
- 简述了非对称门极换流晶闸管(A-GCT)的结构特点及其工作原理,分析了A-GCT结构参数之间的相互制约关系,给出了高压A-GCT的设计参考。并借助ISE软件对A-GCT的阻断特性、导通特性和开关特性进行了模拟。提取了5kV的A-GCT纵向结构设计参数。
- 王彩琳孙永生张建仙
- 关键词：晶闸管
- 新型片状磷平面扩散源的应用研究
- 2009年
- 分析了新型片状固态磷平面扩散源(PDS)的掺杂机理,并与液态POCl3源扩散进行了比较,指出可用片状固态磷PDS来替代POCl3实现磷扩散工艺的预沉积。基于PDS预沉积的实验结果,分析了影响方块电阻大小及其均匀性的关键因素,给出了工艺方案,并通过实际产品的电学参数测量结果验证了工艺方案的可行性,可供新型片状磷PDS在大直径硅扩散工艺中的推广使用参考。
- 王彩琳赵万里刘永祥
- 关键词：扩散磷均匀性
- 门极换流晶闸管关键技术的研究
- 2008年
- 通过对门极换流晶闸管(GCT)关键技术的研究,提出了一种沟槽隔离的逆导型GCT结构。借助MEDICI软件,模拟了GCT的各项特性及其在内部的微观现象,对透明阳极、缓冲层、隔离区等关键结构参数进行了优化设计,并对其制作工艺进行分析。研究结果表明,采用透明阳极、缓冲层和沟槽隔离的逆导型GCT结构,不仅可以获得更好的静、动态性能,而且可大大降低制作工艺难度,有望在国内现有工艺装备下进行开发。
- 王彩琳
- 关键词：晶闸管透明阳极沟槽隔离
