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云南省自然科学基金(2004A00229M)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：谢雪冰杨卫国杨海谭勇文徐天伟更多>>
相关机构：云南师范大学更多>>
发文基金：云南省自然科学基金更多>>
相关领域：理学电气工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇电子器件
  • 1篇离子束
  • 1篇蒙特卡罗
  • 1篇蒙特卡罗方法
  • 1篇聚焦离子束
  • 1篇光电
  • 1篇光电子
  • 1篇光电子器件
  • 1篇TI
  • 1篇AU

机构

  • 1篇云南师范大学

作者

  • 1篇徐天伟
  • 1篇谭勇文
  • 1篇杨海
  • 1篇杨卫国
  • 1篇谢雪冰

传媒

  • 1篇材料导报（纳...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
聚焦离子束研磨Au-Ti-GaAs薄膜引起损伤的研究被引量：1
2008年
通过分析纳米孔的透射电子显微镜(TEM)截面图像和蒙特卡罗理论模拟,研究了聚焦离子束(FIB)研磨Au-Ti-GaAs薄膜的基本性能。应用蒙特卡罗方法模拟FIB研磨三层薄膜的损伤深度与离子能量大小的关系,由于材料不同的阻止本领和晶体结构等因素对损伤深度的影响,随着离子能量的增大,损伤深度并非线性增加。同时,溅射物质的重沉积也影响着纳米孔的形貌,对此也作了系统的分析和探讨。
谭勇文徐天伟谢雪冰杨卫国杨海
关键词：聚焦离子束蒙特卡罗方法光电子器件
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