国家自然科学基金(60271008)
- 作品数：2 被引量：16H指数：2
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- 直流溅射中氮气分量对氮化锆薄膜性质的影响被引量：8
- 2003年
- 用直流溅射方法制备氮化锆薄膜,其晶体结构,氮原子组分以及电阻率都与溅射气氛中氮气分量有直接关系。用X射线衍射分析薄膜结构,随氮气分量由5％至30％增加,玻璃衬底上的氮化锗薄膜首先呈(111)和(200)两主要生长取向;然后(200)取向逐渐消失,只有(111)单个优化生长取向;最后,没有衍射峰出现,薄膜趋于无定型结构。
- 胡莉莉李德杰
- 关键词：电阻率
- 一种新型的表面传导电子发射阴极被引量：8
- 2006年
- 本文介绍了表面传导电子发射(SCE)显示技术,提出Bi2O3/C/Cu结构的双薄膜型SCE阴极,并对其制备工艺和发射性能进行讨论。与佳能公司的SCE阴极相比,该结构采用了廉价的方式实现纳米级缝隙的构建,大大减小了激活时间与制备成本。实验表明,薄膜的蒸镀参数对制得的阴极性能有很大影响。通过对工艺参数的优化,得到了稳定、均匀的电子发射,电子发射率达到0.8%,向器件实用化方向迈出了重要的一步。
- 吴凯李德杰
