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醇热反应低温合成锰钴镍热敏薄膜: 2013年; 锰钴镍复合氧化物是一种具有半导体性质的热敏材料.本文采用金属有机沉积技术于室温条件下、在Si衬底上沉积一定厚度的Mn1.74Co0.72Ni0.54O4金属有机化合物薄膜,并通过醇热反应进行低温结晶化合成,可得到Mn1.74Co0.72Ni0.54O4结晶薄膜.通过X射线衍射、场发射扫描电子显微镜(FESEM)以及阻温特性等测试方法表征,讨论了醇热反应对锰钴镍热敏薄膜的物相结构、微观形貌以及电学性能的影响.X射线衍射图显示薄膜已出现尖晶石结构的特征峰.电镜照片说明结晶薄膜的表面较为平整、孔隙率低.阻温特性关系表明薄膜具有明显的负温度系数效应,室温(≈27°)电阻率约为303.13Ω·cm.; 陈雪颖徐金宝边亮王磊熊信谦高博; 关键词：热敏电阻

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中国科学院西部之光基金(Y22S601301)