国家自然科学基金(U1034006)
- 作品数：5 被引量：12H指数：2
- 相关作者：阎秋生胡光球宋运运陆静徐西鹏更多>>
- 相关机构：广东工业大学华侨大学深圳职业技术学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺化学工程更多>>
- 磁流变-化学机械复合抛光装置设计被引量：1
- 2012年
- 针对SiC晶片外延膜生长需达到原子级超光滑表面的要求以及加工效率低、表面精度差的问题,提出了一套磁流变-化学机械精密抛光装置,该装置利用软件平台对抛光盘和工件运动精确控制,并具有温度、转速等参数微调及显示功能。对装置的工作原理、结构进行了介绍,并在该装置上进行了工艺试验,取得较高的加工效率和光滑无损伤的加工表面。
- 祝江停阎秋生高伟强
- 关键词：化学机械抛光磁流变抛光复合抛光
- 一种电磁式集群磁流变电磁铁的结构设计及优化被引量：2
- 2012年
- 合理的磁路结构及均匀的磁场强度是影响磁流变抛光效果的关键因素,基于电磁铁的特性并结合实验室提出的集群磁流变技术,设计了一种电磁式集群磁流变电磁铁。详细分析了集群磁流变电磁铁的结构设计,通过Ansoft有限元仿真对磁指长度、集群点阵的结构、集群点阵的间隙和集群点阵的深度进行仿真及优化。优化结果显示:磁指长度l=26mm,磁场区域可以实现由线域到面域;集群点阵为方形下凹,磁极表面磁场强度较大;集群点阵间隙为1mm、深度为2mm时,磁极表面可以获得比较均匀的面域磁场。
- 童和平阎秋生潘继生
- 关键词：集群有限元仿真电磁铁磁极
- 磨料与工件对集群磁流变效应抛光垫磨粒“容没”效应的影响被引量：1
- 2014年
- 磁流变液在外加磁场的作用下,在抛光盘与工件表面之间形成粘弹性集群磁流变效应抛光垫产生磨粒"容没"效应,本文以加工工件表面粗糙度Ra/Rv与表面形貌为指标,通过在磁流变抛光液中掺杂粗大磨粒对无表面损伤的单晶硅片、K9光学玻璃、碳化硅晶片进行抛光实验,讨论磨料种类、工件材质对群磁流变效应抛光垫磨粒"容没"效应作用的影响。实验结果表明:集群磁流变效应抛光垫对金刚石与氧化铈磨粒均表现出显著的"容没"效应效果。当抛光单晶碳化硅晶片时,相比金刚石磨粒,集群磁流变效应抛光垫"容没"氧化铈磨粒的效果更佳。而当工件的硬度接近主体磨粒的硬度时,集群磁流变效应抛光垫将表现出更加显著的"容没"效应效果。
- 白振伟周旭光阎秋生
- 关键词：表面粗糙度
- 凝胶结合剂超细金刚石磨粒工具的制备及应用被引量：8
- 2015年
- 利用溶胶凝胶原理制备超细粒度金刚石磨料工具。提出对超细金刚石磨料进行剪切分散解决磨料在凝胶结合剂中的分散问题;选用复合干燥控制化学添加剂改善凝胶结合剂基体的性能;加入偶联剂提高凝胶结合剂基体对超细金刚石磨粒的把持能力。研究结果表明,经剪切分散后的超细金刚石磨料在凝胶结合剂中分布均匀;复合添加剂成功抑制了凝胶结合剂基体的收缩并防止了其脱水失效;偶联剂通过化学键合的作用有效提高了凝胶结合剂基体对超细金刚石磨粒的把持能力,减少了磨粒的脱落。采用所制备的超细金刚石凝胶结合剂工具磨抛加工两种典型的硬脆性基片材料,获得了纳米级甚至亚纳米级的超光滑无损表面。
- 陆静罗求发宋运运胡光球徐西鹏
- 关键词：基片
- 隔离电极的电流变效应抛光装置及实验验证
- 2012年
- 对传统的电流变效应抛光装置,提出了一种新的隔离电极电流变效应发生方法,将高压电源的正负极通过绝缘材料与电流变液接触,解决了低介电常数的羰基铁粉、水等组成的电流变液无法形成稳定电流变效应的问题,扩大了电流变液的组分,提高了使用稳定性。利用该方法设计了电流变效应抛光加工实验装置,采用羰基铁粉为分散粒子、金刚石微粉为磨料、水和硅油分别为基液制备了两种电流变液,对玻璃工件进行了定点加工实验。实验结果表明:这两种电流变液在隔离电极电流变效应抛光装置中能形成良好的电流变效应,具有较好的加工效果,相比较而言,硅油基电流变液更适宜用于抛光加工。
- 路家斌阎秋生田虹
- 关键词：抛光装置
