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湖北省教育厅重点项目(Q200710007)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：吴雯熊娟顾豪爽陈侃松杜鹏飞更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇溅射
  • 1篇溅射制备
  • 1篇ALN薄膜

机构

  • 1篇湖北大学

作者

  • 1篇杜鹏飞
  • 1篇陈侃松
  • 1篇顾豪爽
  • 1篇熊娟
  • 1篇吴雯

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
射频反应溅射制备倾斜AlN薄膜
2010年
采用射频反应磁控溅射方法,通过旋转转盘,使衬底与靶材水平偏离一定角度,制备了C轴择优取向的倾斜AlN薄膜。用XRD分析了不同偏转角度下制备的AlN薄膜的择优取向度,用场发射扫描电镜(FE-SEM)观察了薄膜的截面形貌,并初步讨论了倾斜AlN薄膜的生长机理。分析和测试结果表明,当转盘旋转角度为10°时,AlN薄膜柱状晶倾斜最明显,倾斜角度可达25°。
吴雯熊娟杜鹏飞陈侃松顾豪爽
关键词：ALN薄膜
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