国家自然科学基金(60978046)
- 作品数：3 被引量：12H指数：2
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- 两种开孔的高填充率GRIN平面微透镜阵列离子扩散特性被引量：2
- 2013年
- 采用光刻离子交换法制作六角形孔径的高填充率梯度折射率(GRIN)平面微透镜阵列可有六角形和圆形两种开孔方式。通过设计两种孔径的六角形排列模板,采用光刻离子交换法并分时段取样,分别对形成高填充率GRIN平面微透镜阵列的两种开孔方式的离子扩散特性进行测试和分析,得到了这两种开孔方式在r方向和z方向的离子扩散和开孔表面凸起的特性,为制作不同孔径大小与开孔间距的高填充率GRIN平面微透镜阵列提供了工艺和理论参考。
- 蒋小平刘德森
- 关键词：集成光学填充率
- 采用离子交换法制作一种新型仿复眼微透镜阵列
- 模仿生物复眼,采用光刻离子交换法,在球面玻璃基片中成功制作了一种高填充率的微透镜阵列。阵列透镜元孔径为正六角形,折射率呈三维梯度分布,排列紧密,掩埋于基片内部,相邻透镜元中心距为0.5mm,采用光探针光斑扫描仪测出透镜元...
- 蒋小平刘德森张凤军周素梅
- 关键词：集成光学微透镜阵列六角形复眼
- 文献传递
- 一种掩埋式复眼微透镜阵列被引量：3
- 2011年
- 模仿生物复眼,采用光刻离子交换法,在球面玻璃基片中制作了折射率呈三维梯度变化、排列紧密和光学性能良好的微透镜阵列。单元微透镜孔径呈正六角形,光斑大小为4.92μm,相邻透镜元中心距为0.5mm,掩埋透镜高为0.194mm。微透镜阵列具有对称均匀的光学特性,截距自中心至边缘逐渐变小,数值孔径(N.A.)自中心向边缘逐渐变大,填充因子(FF)接近100%,能模仿复眼的部分光学特性。
- 蒋小平刘德森张凤军周素梅赵志芳陈小梅
- 关键词：微透镜阵列复眼六角形
- 制作高填充率平面微透镜阵列的离子扩散特性研究
- 采用光刻离子交换法制作的平面微透镜阵列是一种具有特殊性能的传光、成像和光束变换的重要光子器件,进行离子交换时,其扩散特性直接决定了微透镜阵列的光学特性。作为一种高精度的光学微加工工艺,自20世纪80年代以来,光刻离子交换...
- 蒋小平刘德森周素梅
- 关键词：离子交换填充率
- 文献传递
- 变折射率球面六角形孔径平面微透镜阵列被引量：9
- 2010年
- 提出了一种制作收集光信息视角范围大、光信息利用效率高、具有良好抗外界应力及温度变化能力的曲面微透镜阵列的新方法。采用光刻离子交换工艺,通过对镀钛掩膜、光刻和离子交换等关键工艺的研究和严格控制,在球面玻璃基片上制作了六角形孔径平面微透镜阵列。制作的阵列单元透镜六角形边长0.173mm,窗口间距0.200mm,单片阵列上微透镜元2052个。测试表明,离子交换深度0.198mm,阵列填充率达到98%,阵列成像性能优良,光学均匀性好,旋转椭球状的单元透镜区域折射率呈三维梯度变化,截距、数值孔径自中心向边缘渐变,半径相同处光学性能一致性好。
- 蒋小平刘德森
- 关键词：集成光学离子交换填充率
- 六角形自聚焦微透镜研究
- 制作六角形孔径的微透镜元是提高微透镜阵列填充因子的有效途径。采用高温熔盐离子交换工艺,以铊型玻璃为原料,研制出了横截面对边距为1mm的六角形自聚焦微透镜。测试表明,此六角形自聚焦微透镜成像质量良好,近场光斑尺寸达2.6μ...
- 蒋小平刁润缪雪丽刘德森
- 关键词：集成光学填充因子折射率分布
- 文献传递
