浙江省自然科学基金(502067)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 相关作者：叶志镇何军辉陈小兵朱骏毛翔宇更多>>
- 相关机构：浙江大学扬州大学更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 非晶态SiO2过渡层上高C轴取向LiNbO3薄膜及生长机制探讨被引量：2
- 2003年
- 利用脉冲激光沉积(PLD)技术在单晶硅衬底的非晶态SiO_2过渡层上外延生长了具有优良结晶品质和高度C轴取向性的LiNbO_3光波导薄膜。利用X射线衍射、高分辨电子显微镜和原子力显微镜等手段对LiNbO_3薄膜的结晶品质和C轴取向性等进行了系统的分析,基本确定了薄膜C轴外延生长的最佳沉积参数。非晶态SiO_2过渡层上的LiNbO_3薄膜由尺度约为150 nm×150 nm的四方柱状C轴取向的单晶畴紧密排列而成,并且具有陡峭的界面结构。棱镜耦合技术测量表明,激光可以被耦合到LiNbO_3薄膜中,形成TE和TM模式的光波导。此外,对于LiNbO_3薄膜在非晶过渡层上择优取向生长的物理机制和薄膜基底效应进行了初步探讨,提出其生长机制很可能符合光滑晶面上三维岛状成核生长的Volmer模式。
- 何军辉叶志镇
- 关键词：光波导薄膜脉冲激光沉积
- 非晶态SiO_2过渡层上高C轴取向LiNbO_3薄膜的PLD生长被引量：1
- 2005年
- 利用脉冲激光沉积(PLD)技术在单晶硅衬底的非晶态Si O2过渡层上外延生长了具有优良结晶品质和高度c轴取向性的Li NbO3光波导薄膜.利用X射线衍射、高分辨电镜和原子力显微镜等手段对Li NbO3薄膜的结晶品质和c轴取向性等进行了系统的分析,确定了薄膜c轴外延生长的最佳沉积参数.非晶态Si O2过渡层上的Li NbO3薄膜由尺度约为150×150nm的四方柱状c轴取向的单晶畴紧密排列而成,并且具有陡峭的界面结构.此外,对于Li NbO3薄膜在非晶过渡层上择优取向生长的物理机制和薄膜基底效应进行了初步探讨,提出其生长机制很可能符合光滑晶面上三维岛状成核生长的Vol mer模式.
- 何军辉朱骏毛翔宇陈小兵叶志镇
- 关键词：C轴取向硅基
