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平面3-DOF电磁微动台设计及其解耦控制被引量：7: 2008年; 针对精密运动应用领域,设计和制作了一种新型的平面三自由度电磁微动台,对此建立了动力学和控制模型。通过电磁力的分配实现控制系统的解耦,对解耦后的单入单出系统设计了双环PD控制器,并进行位置伺服控制实验,验证了解耦策略和控制算法的有效性。; 李恒朱煜胡金春张鸣尹文生杨开明; 关键词：解耦控制微分先行

A 3-DOF Planar Motor Coupling Effect Analysis and Suppression: This paper analyzes the minor coupling effect between each axis of a 3-DOF (Degrees of Freedom) direct drive p...; Jin-chun Hu Deptartment of Computer Science & Technology Tsinghua University; 文献传递

Optimal Synchronous Trajectory Tracking Control of Wafer and Reticle Stages被引量：1: 2009年; An optimal synchronous trajectory tracking controller was developed for multi-axis systems. The position synchronization error on each axis was defined as the position difference between this axis and the following axes. The following error of each axis, the synchronization error, and its derivative were considered in the cost function. A Riccati equation was deduced from the Hamilton-Pontryagin equation. The optimal control law was set up from the Riccati equation solution. Simulations of a two-axis system show that the synchronization error can be significantly reduced and the synchronization performance can be adjusted based on the parameters in the cost function.; 王春洪胡金春朱煜尹文生; 关键词：RICCATI方程 HAMILTON

基于CPN的嵌入式RTOS任务调度建模被引量：4: 2010年; 针对有色Petri网(CPN)在并行、并发、资源共享描述上的适用性,将其引入到嵌入式实时操作系统(RTOS)建模中,解决了RTOS任务调度模型中的CPU独占表述、优先级排序、抢占时间处理和周期任务实现问题。对一个优先级抢占式任务调度实例建立CPN模型,结果表明该模型能有效反映RTOS系统的动态特性,准确定量模拟出RTOS系统的效率、切换频率指标。; 刘经宇朱煜尹文生; 关键词：有色PETRI网嵌入式实时操作系统任务调度

模糊PID控制在纳米微动台系统中的应用被引量：8: 2011年; 针对在纳米级运动控制中,传统PID算法的参数配置在抑制系统运动超调、提高系统定位精度,以及保障系统稳定性等方面存在矛盾的问题,提出了将模糊自适应PID控制器应用于该系统的方案。并基于大量工程整定实验,给出了针对纳米量级控制特点的模糊集设置和模糊整定规则,选取了合理的PID参数论域取值。实验结果表明,所设计的模糊控制器通过动态调整PID参数的增量,有效改善了微动台系统的动态性能,降低了动态响应的超调,且保证了在一定扰动下系统小于±10 nm的定位精度和鲁棒稳定性。验证了模糊自适应PID控制方法应用于纳米量级运动控制领域的有效性,以及基于实验的模糊规则设计、论域选取方法的可行性。; 刘经宇尹文生朱煜; 关键词：模糊自适应PID控制纳米级微动台

永磁同步平面电动机三自由度运动控制器被引量：17: 2006年; 建立了永磁同步平面电动机动子的3自由度动力学模型,并在偏摆角位移较小的假设基础上,对动力学模型进行了简化,进而拟定了通过同时调节4个电磁推力以产生所需偏摆限位转矩的力控制策略。此外,基于状态空间极点配置法,分别设计了与3个自由度对应的位置伺服控制算法,并且对所建立的控制系统进行了数值仿真,仿真结果表明所采用的控制策略和控制算法使控制系统达到了预期的动、静态指标。; 曹家勇朱煜汪劲松尹文生段广洪王春洪; 关键词：同步电动机永磁平面电机极点配置

灰关联分析及其在装备故障诊断中的应用被引量：13: 2008年; 灰理论是研究和解决信息不完备系统的一种有效方法,具有"小样本、贫信息、不确定性"问题处理能力强、计算复杂度低等优点。实际工程中变速箱系统的故障具有复杂的灰特性,通过对灰理论中的灰关联原理、灰关联系数与分辨系数的关系、以及分辨系数的性质和取值原则的研究,成功地将灰关联分析应用于变速箱系统的故障诊断。实例结果表明:灰关联故障诊断方法计算简单,诊断结果与定性分析结论一致;能够为装备维修及状态预测提供理论指导;且对样本数量及其分布规律没有特殊要求,便于形成知识库中的规则,实用价值较大。; 董立立朱煜黄道顾幸生; 关键词：灰关联度灰关联分析故障诊断

粗精动超精密运动平台系统建模与分析研究被引量：9: 2008年; 建立了气浮支撑粗精动超精密运动平台系统理论模型。在分析了系统中存在的位置耦合与力耦合的特性以及系统模型随平台质量比的变化产生的模型特性变化的基础上,用矩阵分式形式描述了系统的传递函数矩阵并分析了系统的能控性与能观性。基于建立的模型设计了LQG多输入多输出运动控制器并进行了运动平台控制仿真,结果表明,通过抑制气浮粗精动平台中产生的耦合作用可提高系统动态性能。; 杨一博尹文生朱煜王春洪; 关键词：LQG控制器

双边驱动精密运动台振动特性研究被引量：1: 2009年; 双边驱动结构具有行程大、驱动力大、带宽高等优点,在平面两自由度气浮精密/超精密运动台中得到了广泛应用。双边驱动方式通常采用双边测量,这样不仅会导致阿贝误差,同时也会对系统的模型产生影响。本文针对平面两自由度双边驱动气浮精密运动台,通过仿真和辨识实验研究,对系统的共振和反共振问题进行了深入分析,为解决此类双边驱动结构的振动问题提供了理论依据。; 贾松涛朱煜杨开明徐登峰王春洪

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国家自然科学基金(50577037)