国家科技重大专项(2009ZX02202-005)
- 作品数：3 被引量：16H指数：3
- 相关作者：向阳齐克奇何煦周振平方超更多>>
- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院大学吉林大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 光刻物镜波像差检测球面波发生装置的研制被引量：8
- 2014年
- 根据用于光刻物镜波像差检测的剪切干涉原理,为了满足可见光原理样机对球面波的需求,设计了一种具有大行程、高精度、可自锁等优点的球面波发生装置。该球面波是通过针孔衍射的方法产生的。装置在结构上采用了二自由度串联柔性机构,并通过一种特殊的压电驱动器进行驱动。通过有限元方法对球面波发生装置在受力状态下的变形情况进行了仿真,分析结果确认了驱动器的驱动力满足要求,并对结构进行了模态分析。经实验测量,得出了该球面波发生装置的位移分辨率,且其输出位移也被证实具有较为良好的线性度。
- 齐克奇向阳
- 关键词：光刻物镜针孔有限元方法
- 数字横向剪切干涉仪相移技术被引量：5
- 2013年
- 由于相移式横向剪切干涉仪相移单元的分辨率、精度等参数直接影响其测试物镜波像差的精度,本文根据相移式横向剪切干涉测试原理,设计了采用宏微复合运动模式的相移组件,该相移组件可在25 mm行程内实现纳米级的相移运动。重点分析了柔性铰链复合四杆结构微动单元初始设计参数间的数学规律,计算了铰链刚度与弱截面应力,并给出了具体的设计实例。采用有限元分析方法,对设计实例中微动单元的相移量与压电陶瓷(PZT)出力之间的作用规律进行仿真,并分析了相移精度。结果显示,PZT在促动力输出范围内可促动0.1 mm^1 nm的一维相移运动,理论精度优于3.5 nm。微动单元的开环标定测试结果表明,相移微动单元的实际精度优于5 nm。
- 何煦向阳
- 关键词：光学测量波像差剪切干涉仪柔性铰链
- 并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量被引量：3
- 2017年
- 针对传统串联式微位移机构具有的结构不紧凑和刚度较低等问题,本文设计了一种结构紧凑、具有高分辨率和高刚度的并联式自解耦二自由度微位移平台。该平台采用了4个对称布置的嵌套式平行导向机构,使得平台具有刚度对称和自解耦等特点。本文还对嵌套式平行导向机构的工作原理进行了分析。通过有限元方法仿真分析了微位移平台在不同受力状态下的变形情况,并对其进行了模态分析。经实验测量,证实了该平台具有自解耦功能,并得出了微位移平台的实际行程,且其输出位移也被证实具有较为良好的线性度。
- 齐克奇向阳丁亚林方超周振平
- 关键词：并联式有限元方法
