四川省应用基础研究计划项目(2008JY0057)
- 作品数：8 被引量：25H指数：3
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- 交替中间热处理BST薄膜介电性能研究被引量：4
- 2009年
- 用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了三种钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜:常规的四层薄膜,在逐层制备过程中,对首层薄膜进行中间热处理(Preheat-treatment,PT)的四层薄膜及间隔或交替地对奇数层薄膜进行中间热处理(称为交替中间热处理(Alternate-preheat-treatment,APT))的八层薄膜.用XPS研究薄膜表面成分化学态,用SEM和AFM观察表面形貌及晶化,并进行了介电性能测试.结果表明,常规薄膜介电性能差;经PT,薄膜裂纹和缩孔显著减少,形貌明显改善,表面非钙钛矿结构显著减少,介电性能明显提高;经APT,薄膜形貌进一步改善,平均晶粒大小约30nm,非钙钛矿结构进一步减少,介电损耗明显降低,介电稳定性和介电强度大幅度提高.APT为制备退火温度低及结构均匀致密的纳米晶BST薄膜提供了新方法,可满足低频实用要求.退火温度对薄膜厚度的影响也进行了讨论.
- 廖家轩魏雄邦潘笑风张佳傅向军王洪全
- 关键词：钛酸锶钡薄膜介电性能
- PVP添加剂改善溶胶-凝胶法制备BST薄膜表面结构及介电性能被引量：3
- 2009年
- 以聚乙烯吡咯烷酮(polyvinyl pyrrolidone,PVP)为添加剂采用改善的溶胶凝胶法制备了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,并采用扫描电镜(SEM)及原子力显微镜(AFM)研究了薄膜的表面结构与介电性能。结果表明:PVP显著改善了BST薄膜的表面形貌,当PVP:Ti的物质的量比为0.7%时,BST薄膜表面形貌最佳,光滑致密无裂纹无缩孔。X射线光电子能谱(XPS)表明,PVP有助于减少BST薄膜表面非钙钛矿结构。介电性能测试表明,在40V外加电压下BST薄膜的介电调谐率达45%,零偏压下的介电损耗低于0.02。另外,对PVP的作用机理进行了讨论。
- 张佳廖家轩潘笑风王洪全傅向军魏雄邦
- 关键词：钛酸锶钡薄膜介电性能
- 改进Sol-Gel法制备Y掺杂BST薄膜表面结构及介电性能研究被引量：10
- 2009年
- 通过在溶胶前驱液中添加聚乙烯吡咯烷酮和在底电极Pt上形成界面仔晶层,对溶胶-凝胶(Sol-Gel)法进行了改进,并以此在Pt/Ti/SiO2/Si上制备了钇(Y)掺杂和非掺杂的Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究了薄膜的表面结构和介电调谐性能.X射线光电子能谱表明,BST薄膜表面元素都以两种或三种化学态出现,一种对应钙钛矿结构,其余的对应非钙钛矿结构.和非掺杂相比,除了Ti2p外,Y掺杂对Ba3d、Sr3d和O1s具有明显的影响,Ba、Sr和O原子在非钙钛矿结构中的含量分别由41%、33%和51%减少到26%、29%和40%.扫描电镜和原子力显微镜表明,Y掺杂BST薄膜光滑致密、无裂纹和无缩孔.40V偏压和100kHz频率下的电压-电容曲线表明,Y掺杂提高了薄膜的介电调谐性能,调谐率大于43%、损耗0.0216及优化因子20.对Y掺杂改性机理也进行了讨论.
- 廖家轩王洪全潘笑风傅向军张佳田忠
- 关键词：钛酸锶钡薄膜
- BaFe_(12)O_(19)/BaTiO_3复合材料的制备及微波性能被引量：6
- 2009年
- 采用溶胶凝胶法制备了钛酸钡(BaTiO3,BTO)和钡铁氧体(BaFe12O19,BFO)复合粉体。研究了该粉体的结晶情况、相结构、形貌及吸波性能。XRD结果表明,复合粉体的相结构与BFO粉体的相结构接近,但与BTO含量和烧结温度密切相关。SEM结果表明,复合粉体由微米晶粒和纳米晶粒组成,随着烧结温度的升高颗粒尺寸增大。吸波性能测试表明,粉体在500MHz～18GHz频率范围有多个吸收峰,BTO的加入明显改善了材料的吸波性能。
- 王洪全廖家轩潘笑风傅向军张佳魏雄邦
- 关键词：溶胶-凝胶钡铁氧体钛酸钡吸波性能
- Ce掺杂Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜表面结构XPS研究被引量：2
- 2009年
- 用改进的溶胶-凝胶法制备铈(Ce)掺杂和非掺杂2种钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜,用X射线光电子能谱(XPS)研究薄膜的表面结构。XPS结果表明,BST薄膜的表面结构由钙钛矿结构和非钙钛矿结构组成,铈掺杂显著地减少了非钙钛矿结构。扫描电镜及原子力显微镜观察表明,掺杂BST薄膜光滑致密无裂纹。电压-电容曲线表明,掺杂BST薄膜的介电性能大幅度提高,在40V外加电压下介电调谐率达60.8%,零偏压下的介电损耗为0.0265。同时,就非钙钛矿结构的成因及Ce掺杂BST薄膜的有关改善机制进行了讨论。
- 廖家轩潘笑风王洪全张佳傅向军田忠
- 关键词：铈掺杂钛酸锶钡薄膜钙钛矿结构
- Y掺杂BST薄膜介电性能研究被引量：2
- 2009年
- 用改进溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si上制备了钇(Y)掺杂Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究了Y掺杂对BST薄膜表面结构和介电性能的影响。XPS结果表明,Y掺杂有利于薄膜钙钛矿结构的形成,但对氧空位没有明显的抑制作用。SEM和AFM结果表明,Y掺杂能缓解薄膜应力、减少薄膜裂纹、细化晶粒,进而改善薄膜的表面结构。在进行Y掺杂后,薄膜的介电性能得到明显提高,40V外加电压下的介电调谐率大于40%及零偏压下介电损耗为0.0210,优化因子大于20。
- 潘笑风廖家轩王洪全张佳傅向军魏雄邦
- 关键词：钛酸锶钡薄膜钇溶胶-凝胶法介电性能
- 铈掺杂钛酸锶钡薄膜的结构及介电性能
- 2009年
- 用改善的溶胶凝胶法制备铈掺杂钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜,研究其结构与介电性能。X射线光电子能谱表明,铈掺杂显著地减少了薄膜表面非钙钛矿结构。但是,由于掺杂薄膜较薄且掺杂量小,X射线衍射结果未见明显变化。原子力显微镜结果表明,掺杂BST薄膜表面光滑致密。掺杂BST薄膜的介电性能大幅度提高,在40V外加电压下介电调谐率达60.8%,零偏压下的介电损耗为0.0265。同时,就有关结构及介电性能改善的机制进行了讨论。
- 傅向军廖家轩张佳潘笑风王洪全魏雄邦
- 关键词：铈掺杂钛酸锶钡薄膜钙钛矿结构介电性能
- 退火温度对Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜晶化及介电性能的影响被引量：2
- 2009年
- 用改善的溶胶凝胶(Sol-Gel)法制备了钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜,研究了退火温度对薄膜晶化及介电性能的影响。X射线衍射表明,由于薄膜较薄,各温度下衍射峰强度均微弱,但呈(110)择优取向,随温度的升高峰强度逐渐增加,也出现其他晶向的衍射峰。扫描电镜和原子力显微镜表明,改善的BST薄膜表面形貌光滑致密、无裂纹、无缩孔,随温度的升高薄膜晶化增强、晶粒逐渐长大、粗糙度增加。40V外加电压下的介电性能大幅度提高,介电调谐率大于30%,介电损耗约0.02,其中,650℃对应介电调谐率45.1%和介电损耗0.0187。同时,就有关结构、介电性能及退火温度的关系进行了讨论。
- 廖家轩潘笑风王洪全张佳傅向军田忠
- 关键词：钛酸锶钡薄膜晶化介电性能
