国家高技术研究发展计划(2002A331020)
- 作品数：5 被引量：32H指数：3
- 相关作者：范松华张谷令杨思泽刘赤子王久丽更多>>
- 相关机构：中国科学院北京科技大学中央民族大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺一般工业技术更多>>
- 金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入的轴向特性研究被引量：4
- 2007年
- 栅极增强等离子体源离子注入(GEPSII)一种新的金属管件内壁处理方法,该方法能够均匀地对金属管件内壁进行离子注入,并且能够生成二元金属化合物.在金属管件内轴向放置三块45号钢样品,利用GEPSII方法在金属管件内壁成功生长金黄色氮化钛(TiN)薄膜.结构分析显示TiN主要沿(111)和(200)晶面生长,深度分析显示膜的厚度大约二十几纳米,膜质地均匀且在基底有一定的嵌入深度.电化学腐蚀、硬度、磨擦学分析表明TiN薄膜很好地改善了45号钢的表面性能,并且表现出很高的轴向均匀性.
- 张谷令王久丽陈光良冯文然顾伟超牛二武范松华刘赤子杨思泽
- 关键词：内表面氮化钛
- 脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti,Al)N薄膜组织及其性能研究被引量：4
- 2005年
- 利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下在 4 5 #钢基材表面沉积了高硬度耐腐蚀 (Ti,Al)N薄膜 .利用扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱分析了薄膜的显微组织 .利用纳米压痕仪测试了薄膜的纳米硬度 .测试了薄膜在 0 5mol LH2 SO4 水溶液中的耐蚀性 .测试结果表明 :薄膜主要组成相为 (Ti,Al)N ,同时含有少量的AlN ,薄膜的纳米硬度高达 2 6GPa ,薄膜具有良好的耐蚀性 ,与 1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢相比 ,耐蚀性提高了一个数量级 .
- 刘元富韩建民张谷令王久丽陈光良李雪明冯文然范松华刘赤子杨思泽
- 关键词：(TI,AL)N耐蚀性1CR18NI9TI奥氏体不锈钢俄歇电子能谱室温条件
- 管型材料离子注入内表面改性研究进展被引量：2
- 2003年
- 利用在管材中心引入同轴接地电极并在金属管材上加脉冲负偏压以产生径向离子加速电场,实现了金属管材内表面离子注入。目前国内外还有其它一些技术手段实现材料内表面改性,如脉冲放电爆炸金属箔注入、离子束溅射沉积、等离子体化学气相沉积法等。这些实验方法所遇到的主要问题是离子注入沿轴向不均勺、膜与基底结合不牢。在原实验方法基础上,又提出了一种新的方法——栅极增强等离子体源离子注入法。实验结果表明:此方法不但可以大大提高离子注入沿轴向的均匀性。
- 杨思泽张谷令王久丽刘斌范松华杨武保刘元富
- 关键词：改性
- 等离子体方法实现金属管件内表面改性研究进展被引量：2
- 2006年
- 综述了近年来国内外利用等离子体方法实现金属管件内表面强化的研究进展．介绍了几种管件内表面等离子体源离子注入和沉积技术,并对其优缺点分别加以分析．详细介绍了中国科学院物理研究所等离子体物理实验室先后提出的几种等离子体源离子注入方法用于金属管件内表面改性的原理、技术特点及最新研究进展．力图展望管件内壁离子注入技术研究的发展前景．
- 张谷令吴杏芳顾伟超陈光良冯文然牛二武李立吕国华陈皖范松华刘赤子杨思泽
- 关键词：等离子体源离子注入内表面表面改性
- 内表面栅极等离子体源离子注入TiN薄膜及其特性研究被引量：24
- 2003年
- 阐述了栅极增强等离子体源离子注入 (GEPSII)方法的基本思想 .利用GEPSII方法在 4 5号钢基底上生成了金黄色氮化钛 (TiNx)膜 .对不同条件下的TiN膜做电化学腐蚀 ,XPS ,AES ,XRD等分析 .电化学腐蚀实验显示TiN薄膜改善了 4 5号钢的耐腐蚀性能 5— 10倍 ,且在高气压下效果更好 .结构分析显示TiN膜含有TiO2 ,TiN成分 ,主要沿( 111)和 ( 2 0 0 )晶向生长 ,深度分析显示膜的厚度只有二十几纳米 。
- 张谷令王久丽杨武保范松华刘赤子杨思泽
- 关键词：TIN薄膜氮化钛薄膜45号钢
