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中国博士后科学基金(2005038459)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：匡登峰方志良杨勇更多>>
相关机构：南开大学更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇透镜
  • 1篇透镜阵列
  • 1篇微透镜
  • 1篇微透镜阵列
  • 1篇面阵
  • 1篇灰阶
  • 1篇焦平面
  • 1篇焦平面阵列
  • 1篇红外
  • 1篇红外焦平面
  • 1篇红外焦平面阵...

机构

  • 1篇南开大学

作者

  • 1篇杨勇
  • 1篇方志良
  • 1篇匡登峰

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
原子力显微镜加工红外微透镜阵列的研究
2007年
提出了利用原子力显微镜灰阶阳极氧化方法加工Si、Ge、GaAs等晶体材料为基础的红外微透镜阵列.加工了3×3的红外硅微透镜阵列,微透镜的高度和表面直径重复性误差分别为0.2nm和6.0nm,微透镜的平均曲率半径为510.8nm.分析了原子力显微镜加工红外微透镜产生面型结构误差的原因,并提出了减小面型结构误差的方法.利用此种方法加工的折射、衍射和混合红外微透镜阵列可以进一步缩小红外成像系统的尺寸.
匡登峰方志良杨勇
关键词：微透镜阵列红外焦平面阵列灰阶
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共1页<1>
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