天津市自然科学基金(05YFJZJC00400)
- 作品数：4 被引量：18H指数：3
- 相关作者：孙大智杨保和熊瑛崔建李翠平更多>>
- 相关机构：天津理工大学北京科技大学天津大学更多>>
- 发文基金：天津市自然科学基金国家自然科学基金天津市科技发展战略研究计划项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学化学工程更多>>
- 纳米金刚石薄膜的制备被引量：8
- 2008年
- 采用微波等离子体化学气相沉积系统,利用氢气、甲烷、氩气和氧气为前驱气体,在直径为5 cm的(111)取向镜面抛光硅衬底上沉积出高平整度纳米金刚石薄膜。利用扫描电镜、X射线衍射谱和共焦显微显微拉曼光谱我们分析了薄膜的表面形貌和结构特征。该薄膜平均粒径约为20 nm。X射线衍射谱分析表明该薄膜具有立方相对称(111)择优取向金刚石结构。在该薄膜一阶微显微拉曼光谱中,1332 cm-1附近微晶金刚石的一阶特征拉曼峰减弱消失,可明显观测到的三个拉曼散射峰分别位于1147 cm-1、1364 cm-1和1538 cm-1,与己报导的纳米金刚石拉曼光谱类似。该方法可制备出粒径约为20 nm粒度分布均匀致密具有较高含量的sp3键的纳米金刚石薄膜。
- 杨保和崔建熊瑛陈希明孙大智李翠平
- 关键词：纳米金刚石薄膜微波等离子体化学气相沉积
- H_2-O_2混合气氛刻蚀制备金刚石纳米晶薄膜被引量：5
- 2006年
- 提供了在镜面抛光Si衬底上沉积平滑的纳米金刚石(NCD)薄膜的方法。采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)系统,利用H2、CH4和O2为前驱气体,在镜面抛光的Si基片上制备了直径为5 cm的NCD薄膜,用扫描电镜(SME)和共焦显微拉曼光谱分析其表面形貌和结构特点。分析表明,利用这种方法可以制备出高sp3含量的NCD薄膜。通过与沉积时间加长而沉积条件相同情况下合成的金刚石微晶薄膜形貌相对比,分析了H2-O2混合气氛刻蚀制备NCD薄膜的机理。分析表明,基底的平滑度对O2的刻蚀作用起到重要的影响;在平滑的基底上,含量较少的O2的刻蚀作用也很明显;随着基底的平滑度下降,混合气氛中O2的刻蚀作用逐渐减弱。
- 熊瑛杨保和吴小国孙大智李明洪松
- 关键词：O2
- 氮掺杂金刚石膜的生长特性被引量：2
- 2008年
- 采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD),在含氮气氛中制备出金刚石膜,利用SEM、Raman光谱、EPR测试手段研究了氮气对金刚石膜品质的影响及氮掺杂特性.结果表明,在950℃基片温度下,沉积气氛中掺入氮气后,金刚石膜晶形变为"菜花状",非金刚石碳的含量增加,膜的品质下降.在800℃基片温度下,沉积气氛中掺入氮气后,孪晶和二次成核减少,金刚石膜的结晶形貌得到改善.通过Raman光谱和EPR分析发现,在金刚石膜中氮杂质主要以Ns0,[N-V]0和[N-V]-1的形式存在,而且随着氮气流量的增加,Ns0的含量增加,[N-V]0含量减少,[N-V]-1含量变化不明显.
- 李明吉杨保和孙大智吕宪义金曾孙
- 关键词：金刚石膜
- 固相反应烧结制备负膨胀陶瓷材料ZrW2O8被引量：4
- 2008年
- 以WO3和ZrO2粉末为原料,球磨混匀后经190MPa冷等静压成形,在1200℃下固相反应烧结24h制备出负膨胀系数材料ZrW2O8。试验结果表明,采用固相反应烧结的方法能够经济有效地制备出ZrW2O8块体材料。XRD分析试样的物相组成主要为ZrW2O8,SEM观察了试样的断口形貌。万能膨胀仪测出试样在18-718℃之间的平均线膨胀系数为-5.57×10^-6K^-1,排水法测出试样室温下的密度为4.81g/cm^3。
- 杜学丽秦明礼郭瑞松曲选辉
- 关键词：钨酸锆负热膨胀
