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浙江省教育厅科研计划(Y201326895)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：孙蓉赖莉飞更多>>
相关机构：中国科学院宁波工程学院更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电性能
  • 1篇电阻
  • 1篇微观结构
  • 1篇埋入式
  • 1篇薄膜电阻

机构

  • 1篇宁波工程学院
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇赖莉飞
  • 1篇孙蓉

传媒

  • 1篇宁波大学学报...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
C掺杂型NiCr合金薄膜的电性能和微观结构被引量：2
2014年
利用闭合磁场非平衡磁控溅射工艺制备出C掺杂型NiCr合金薄膜电阻材料,获得了电性能优于NiCr合金薄膜的NiCrC薄膜电阻材料.实验结果表明:NiCr薄膜中掺杂C元素后,薄膜的择优取向由Ni(011)变为Ni(111);薄膜的缺陷和应力得以减小;薄膜中C元素具有类石墨性质.
赖莉飞孙蓉
关键词：电性能微观结构
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共1页<1>
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