霍英东基金(01052)
- 作品数：7 被引量：37H指数：5
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- 微加速度计在恶劣环境下的可靠性被引量：7
- 2007年
- 微加速度计的可靠性问题是其能否迅速走向市场的关键。本文对压阻式悬臂梁加速度计在不同的环境下的失效模式进行了讨论,并给出了一些加速度计可靠性设计方面的建议,可以为其他科研工作者提供参考。
- 高健飞熊继军郭涛石云波
- 关键词：可靠性加速度计失效模式残余应力
- 新型三轴压阻式硅微加速度计的研究被引量：1
- 2008年
- 微惯性系统以及其他高精密场合往往需要高精度三轴加速度计来检测三个垂直方向加速度矢量。针对类似需求，介绍了一种四边八梁结构式三轴压阻式硅微加速度计，利用硅衬底上单一质量块和惠斯通半桥结构可同时实现三个轴向上的加速度高精度测量。另外设计了微加速度计在高过载环境下的硅一玻璃防护结构和体硅加工工艺，并通过ANSYS仿真和试验验证了加速度计结构的合理性，还对微加速度计相关性能进行了测试，测试结果表明，该微加速度计具有较高的测量精度和较好的线性度，满足设计要求。
- 甄国涌赵慧
- 关键词：体硅工艺线性度
- 复合量程微加速度计中阻尼的分析与设计被引量：6
- 2006年
- 为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,需要在结构中合理设计阻尼.设计了一个复合量程压阻式微加速度计,为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数,通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层.根据Reynolds方程,可知当硅-玻璃静电键合间距d=2.25μm时,复合量程微加速度计中各个传感器可得到较好的阻尼比.
- 毛海央熊继军张文栋郭涛徐栋
- 关键词：压阻式二阶系统阻尼
- 复合量程微加速度计的研究被引量：9
- 2006年
- 在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量,例如,分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况,既需要测试发射过程中上万个g的加速度,也需要测试飞行过程中几个g的加速度.在这些场合用同一个加速度计很难满足整个过程的测试要求.针对类似的需求,介绍了一种由四个压阻式微加速度计组成的复合量程微加速度计,四个微加速度计量程分别为100g、500g、1000g和2000g.除了主要介绍微加速度计阵列的设计、制造和测试外,还着重介绍了低量程传感器在高过载环境下的结构防护问题.线性测试结果表明该复合量程微加速度计具有较好的线性度,因而可以同时在测量四个不同的量程的加速度值.
- 熊继军毛海央张文栋徐栋郭涛
- 关键词：压阻式体硅工艺线性度
- 压阻式微加速度计的结构优化设计被引量：2
- 2007年
- 在过去对技术系统的设计优化通常是根据设计者自己的经验,通过改变一个系统参数来分析系统性能。但随着系统参数的日益增加,这种类型的优化变得越来越困难。鉴于此,本文介绍了利用ANSYS软件对压阻式微加速度计进行结构优化的设计的方法,通过对压阻式微加速度计原结构和优化后的结构进行分析比较,加速度计的结构灵敏度提高了一个数量级,输出灵敏度提高了4倍以上。本文也对微加速度传感器的工作原理和有限元优化的相关概念作了简单的介绍。
- 李丽华郭涛熊继军徐栋
- 关键词：微加速度计压阻式有限元优化结构优化
- 共振隧穿二极管的压阻特性测试与研究被引量：6
- 2006年
- 设计并搭建了检测共振隧穿二极管(RTD)压阻特性的实验系统,测试了RTD结构在不同应力状态下I-V特性曲线的漂移.实验结果表明RTD结构压阻特性的灵敏度大于1×10-8Pa-1.为了更精确地定量表达其压阻特性,研究了同一RTD结构I-V特性的一致性,得到相同环境条件下RTD电阻的最大相对漂移量小于3%,其中1%由测试仪器造成.
- 毛海央熊继军张文栋薛晨阳桑胜波鲍爱达
- 关键词：共振隧穿二极管压阻特性一致性灵敏度喇曼光谱
- 八梁硅微加速度传感器横向灵敏度的研究被引量：7
- 2008年
- 一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式,这种结构的传感器有很高的灵敏度,但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器,通过用ANSYS有限元分析软件仿真计算,说明该结构的加速度传感器具有很小的横向效应。
- 范波熊继军郭涛毛海央王敏
- 关键词：加速度传感器灵敏度压阻式
