国家高技术研究发展计划(2007AA04Z301)
- 作品数：3 被引量：6H指数：2
- 相关作者：于虹岳东旭袁卫民赵阳杨磊更多>>
- 相关机构：东南大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 硅悬臂梁的制造及压阻特性研究被引量：2
- 2009年
- 简述了硅压阻悬臂梁的工艺流程,在力学参数的测试中,利用原子力显微镜,测得杨氏模量约为133GPa;在力电耦合特性的测试中,原子力显微镜探针对悬臂梁自由端步进下压,利用半导体参数测试仪,测得悬臂梁的位移灵敏度为1.95×10-7-1,力灵敏度为4.22×10-6nN-1。另一方面,与Coventorware模拟结果相比,灵敏度实验值大约是模拟值的1.4倍,与理论值近似,说明当硅悬臂梁厚度进入纳米尺寸后,量子效应和表面效应明显,压阻效应增强。
- 杨磊于虹赵阳
- 关键词：悬臂梁压阻效应杨氏模量灵敏度
- 静电驱动的亚微米悬臂梁谐振器非线性特性被引量：4
- 2011年
- 理论分析了亚微米尺寸的悬臂梁结构的非线性力学模型,研究了非线性产生的物理机制。采用外部静电激励机制,使悬臂梁谐振器产生谐振,借助Polytec激光多普勒测振系统检测了悬臂梁的频率响应曲线。测试结果表明,悬臂梁具有显著的非线性效应(即"弹簧变软"效应)。实验证实了这种非线性效应几乎和交流电压无关,却随着直流电压的增大而显著增大,最大峰值偏移达到0.5MHz。提取出3组一阶机械弹性系数分别为79.62,31.75和14.92N/m,实验结果符合理论规律。对实验中的偏差做了进一步的分析和讨论,利用软件ANSYS对过腐蚀对结构刚度和频率响应的影响做了相应的模拟,结果和实验测量数据相吻合。
- 岳东旭于虹袁卫民
- 关键词：静电驱动非线性频率响应
- H型亚微米梁的混频特性测量被引量：1
- 2011年
- 本文简述了H型亚微米梁的工艺实现过程,从实验上详细研究H型梁的两种混频方式:向下混频和向上混频.考察的H型梁长度分别为8μm、10μm、12μm和15μm,小激励下谐振频率分别为13.30 MHz、8.77 MHz、6.12 MHz和3.65 MHz.通过在梁上施加两路不同频率的静电激励信号,调整两信号频率差值及和值在梁的本振频率附近变化,经过梁的自适应过程实现信号混频,最后由多普勒测振仪检测梁的混频特性.实验结果表明梁在向下混频时的振幅随两路信号频率的平移而改变,出现所谓的窗口效应;对于这两种混频方式,混频分量越接近梁的本征频率,梁的振幅越大,反之梁振幅下降越多;在输入信号功率均设置为14 dBm时,对比向上混频,向下混频使得梁的振幅更大,诸如12μm长的梁向下混频时梁振幅为4.082 nm,而向上混频时混频处振幅仅为1.826 nm.
- 于虹袁为民岳东旭
