国家高技术研究发展计划(2007AA04Z318)
- 作品数：3 被引量：14H指数：2
- 相关作者：王军波陈德勇陈李罗振宇焦海龙更多>>
- 相关机构：中国科学院电子学研究所华北电力大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>
- 降低振动环式微机械陀螺同频干扰的方法研究被引量：1
- 2008年
- 受MEMS加工工艺等因素影响,振动环式微机械陀螺存在一定的不对称,引起检测端的同频干扰,导致检测信号的信噪比降低。通过对振动环式陀螺进行激励模态和检测模态的动力学分析,研究激励信号、干扰信号和Coriolis力之间相位关系,提出降低同频干扰的解决方法,以提高陀螺检测灵敏度。
- 韩磊李守荣王军波陈李陈德勇
- 关键词：同频干扰
- 基于自停止腐蚀技术的H型谐振式微机械压力传感器被引量：10
- 2011年
- 为了提高压力传感器的精度并抑制温漂,提出了一种基于自停止腐蚀技术的"H"型双端固支梁、电磁激励、差分检测的微机械(MEMS)谐振式压力传感器。首先,通过有限元分析仿真优化了传感器的机械参数,得到了较高的灵敏度和分辨率。然后,基于浓硼扩散自停止腐蚀原理,采用MEMS体硅标准工艺加工出一致性较好的传感器样品。最后,采用非光敏BCB,在真空高温高压条件下将硅片与谐振器黏和键合完成了传感器的真空封装,并设计了应力隔离的后封装方法以降低温漂。实验结果表明:传感器的检测范围为0～120kPa,满量程非线性度低于0.02%,准确度达到0.05%FS,加入应力隔离后在-40～70℃的温度漂移不高于0.05%/℃。该传感器能够实现大量程高精度的压力测量,有效地抑制了温漂,具有较高的性能指标。
- 李玉欣陈德勇王军波焦海龙罗振宇
- 关键词：谐振式压力传感器差分检测
- 高性能电磁式微机械振动环陀螺被引量：5
- 2009年
- 为改进振动环陀螺的模态匹配并提高其品质因数,设计了一种采用全对称结构实现模态匹配的电磁式微机械振动环陀螺。通过理论推导,建立了陀螺灵敏度和机械噪声的数学模型,分析了陀螺参数对灵敏度及分辨力的影响。采用(100)晶向的单晶硅及工艺简单,无需键合的MEMS体硅标准工艺加工了陀螺样片。器件频率响应实验结果表明,所设计的振动环陀螺驱动模态和检测模态频率之差<0.5Hz,大气压下品质因数约为500,在1Pa的低真空下可达14000。锁相放大器测试结果表明,在-200～200°/s,陀螺分辨力为0.05°/s,灵敏度为0.2μV/(°/s)。测试结果表明该陀螺能够实现模态匹配和较高的品质因数,具有较高的性能指标。
- 陈李陈德勇王军波毋正伟张明
- 关键词：微机械陀螺
