西安市科技计划项目(CXY08018)
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
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- 基于线性规划的关键面积最小化方法被引量：1
- 2008年
- 随着集成电路(IC)技术的不断发展,尤其在90nm和65nm技术节点,集成电路制造业的投资剧增而随机成品率却在下降。为了提升随机成品率,需要在布线或后布线阶段减小关键面积。文中提出一种基于线性规划降低关键面积的方法,使关键面积在一组条件约束下,通过版图中一些特征量的变化,建立起一个线性规划模型,然后求其最优解,进而得出关键面积的最小值。该方法的优点是把一个版图优化问题转化为数学问题,使问题更精确化,从而为成品率的优化提供了一条新途径。
- 王强王俊平任春丽
- 关键词：关键面积线性规划
- 椭圆缺陷轮廓的关键面积计算模型
- 在90nm和65nm技术节点,集成电路制造业的投资剧增而随机成品率却在下降低。为了提升随机成品率,关键面积的计算是关键。本文根据集成电路制造中真实缺陷的形状特征,提出椭圆缺陷轮廓引起水平布线导体/垂直布线导体的短路/开路...
- 王俊平郝跃任春丽
- 文献传递
