江苏省普通高校研究生科研创新计划项目(CXLX13389)
- 作品数：2 被引量：30H指数：2
- 相关作者：夏巍刘强王鸣郝辉李春成更多>>
- 相关机构：南京师范大学更多>>
- 发文基金：江苏省普通高校研究生科研创新计划项目国家自然科学基金江苏省高校自然科学研究项目更多>>
- 相关领域：理学自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 正弦相位调制型激光自混合干涉仪的实时位移测量技术被引量：15
- 2014年
- 采用正弦相位调制技术与时域解调相位方法相结合,提高激光自混合干涉仪在大量程位移测量中实时测量的准确度和速度。通过在激光器外腔中放置的电光晶体调制器对光束进行正弦相位调制,采用时域解调相位方法解调干涉信号相位。同时满足了大量程位移测量过程中的速度要求以及实现干涉仪位移测量的实时性。实验上,用PI公司高分辨率的商用电动位移平台标定的结果验证了该正弦相位调制激光自混合干涉仪在百毫米级大尺度位移测量中可达到小于0.5μm的位移测量误差。对干涉仪在实时位移测量中的影响测量速度的因素进行了分析,得出了本干涉仪的测速上限。
- 刘强王鸣夏巍李春成郝辉郭冬梅
- 关键词：自混合干涉相位调制
- 基于F-P腔强度解调的微位移传感器被引量：15
- 2014年
- 基于一次谐波腔长锁定技术,设计了一种基于法布里-珀罗(F-P)腔干涉的强度解调型微位移传感器。系统对F-P腔的初始腔长进行动态锁定,通过将F-P腔腔长的微小变化转化为强度信号,实现直接快速地对待测目标的微位移进行测量。详细地阐述了位移传感器的理论模型及一次谐波锁定F-P腔腔长的技术方案,实验中采用商用的高精度压电陶瓷平移台(PZT)模拟了实际物体的运动状态,实验结果表明,该系统对峰峰值在λ/4(λ为光波波长)以内、频率不高于400Hz的微位移有很好的测量结果,频率误差小于0.5Hz,测量精度小于1nm。
- 李春成王鸣夏巍刘强郝辉
- 关键词：传感器微位移
