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PECVD镀膜机等离子体静电探针诊断: 开发了一个朗缪尔探针等离子体诊断系统对PECVD真空镀膜机进行了等离子体参数诊断。该镀膜机内的等离子体是电容偶合激发方式的氩等离子体,激发源为射频电源(13.56MHz)。在射频功率为40瓦到140瓦的范围内,使用该朗缪...; 王庆巴德纯徐香坤徐化冰; 关键词：等离子体增强化学气相沉积镀膜机等离子体诊断; 文献传递

PECVD镀膜机等离子体静电探针诊断被引量：2: 2009年; 开发了一个朗缪尔探针等离子体诊断系统,对PECVD真空镀膜机进行了等离子体参数诊断。该镀膜机内的等离子体是电容偶合激发方式的氩等离子体,激发源为射频电源(13.56MHz)。在射频功率为40W到140W的范围内,使用该朗缪尔探针对镀膜机中氩等离子体的参数(等离子体密度和电子温度)进行了诊断分析。结果表明:电子温度在2.7eV和6.4eV之间,并且随着射频功率的增加而降低。而等离子体的密度在0.85×1015m-3到8×1016m-3的范围随着射频电源的增加而增加。; 王庆巴德纯徐香坤徐化冰; 关键词：等离子体增强化学气相沉积镀膜机等离子体诊断

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博士后科研启动基金(BSH-2004921032)