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国防基础科研计划(B1120060466)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
周铭
阚玲
梁涛
唐昭焕
刘勇
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相关机构:
中国电子科技集团公司第二十四研究所
中国电子科技集团第二十四研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
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中国电子科技...
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作者
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徐岚
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税国华
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刘勇
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唐昭焕
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梁涛
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阚玲
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周铭
传媒
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年份
1篇
2011
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评价IC芯片质量与可靠性的关键技术研究
被引量:2
2011年
对CPK、SPC和PPM三项评价IC芯片质量和可靠性的关键技术进行了研究。使用这三项技术,实际评价了芯片制造工艺中的氧化工艺。实践证明,这三项技术在工艺生产能力评估、工艺过程控制和失效分析等方面具有广阔的应用前景,特别是在工艺过程中对特殊工艺的评估。
唐昭焕
周铭
徐岚
刘勇
阚玲
梁涛
税国华
关键词:
半导体工艺
可靠性
统计过程控制
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