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中国工程物理研究院科学技术发展基金(2012A0301014)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：陈军蒙大桥张桂凯陈秋云林斯勤更多>>
相关机构：表面物理与化学重点实验室中国工程物理研究院更多>>
发文基金：中国工程物理研究院科学技术发展基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇光学
  • 1篇光学常数
  • 1篇光学性
  • 1篇光学性质
  • 1篇厚度
  • 1篇CEO

机构

  • 1篇中国工程物理...
  • 1篇表面物理与化...

作者

  • 1篇林斯勤
  • 1篇陈秋云
  • 1篇张桂凯
  • 1篇蒙大桥
  • 1篇陈军

传媒

  • 1篇稀有金属

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
CeO_2纳米薄膜的厚度和光学性质被引量：1
2014年
二氧化铈因具有高介电常数、折射率和紫外吸收率而在光学和电子器件方面得到广泛应用。在500℃沉积温度下，采用真空热蒸镀法在单晶si基体上制备纳米CeO2光学薄膜，用扫描电子显微镜（SEM），X射线衍射仪（XRD）对CeO2薄膜的表面形貌和结构进行了表征和分析。结果表明薄膜呈现多晶纳米颗粒，晶粒粒径为20nm左右，其形貌均匀致密。用台阶法、反射光谱法和椭偏偏振法对不同沉积时间（6—15min）制备的薄膜厚度进行对比测量研究，不同测量方法所测薄膜厚度一致，并随着薄膜厚度增加，厚度测量的差值越小。运用德鲁德一洛伦茨（Drude．Lorentz）谐振模型对椭偏参量进行拟合，得到了不同厚度CeO2薄膜的光学常数。结果表明在350～1000nm内其折射率（n）与消光系数（k）随着波长的增加而减少，632．8nm波长下，薄膜折射率在2．11～2．20，并且薄膜的折射率随着薄膜厚度的增加而增加，而消光系数k随着薄膜厚度的增加而减少。
陈军蒙大桥张桂凯林斯勤陈秋云
关键词：厚度光学常数
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