您的位置： 专家智库 > >

国家高技术研究发展计划(200945KY02)

作品数：2 被引量：14H指数：2
相关作者：高慧莹刘涛孙振杰罗杨费玖海更多>>
相关机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇蠕动泵
  • 1篇抛光
  • 1篇抛光机
  • 1篇蓝宝
  • 1篇蓝宝石
  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇机械抛光
  • 1篇泵头
  • 1篇PG
  • 1篇CMP工艺

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇刘涛
  • 2篇高慧莹
  • 1篇费玖海
  • 1篇罗杨
  • 1篇孙振杰

传媒

  • 2篇电子工业专用...

年份

  • 2篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
PG-510型单面抛光机的研制被引量：4
2010年
介绍了针对蓝宝石衬底表面纳米级抛光工艺而研制的PG-510单面抛光机的主要结构及其性能特点,简要论述了抛光过程中各工艺参数的控制方案,并通过实验验证了设备的主要性能指标,能够满足蓝宝石衬底表面纳米级抛光的工艺要求。
刘涛高慧莹罗杨费玖海
关键词：蓝宝石CMP工艺
蠕动泵原理及在化学机械抛光过程中的应用被引量：10
2010年
主要分析了蠕动泵的组成和工作原理,描述了蠕动泵在化学机械抛光过程中的应用特点和优势。详细介绍了蠕动泵在应用过程中的控制方法和选用注意事项。
高慧莹刘涛孙振杰
关键词：蠕动泵化学机械抛光泵头
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0