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中国航空科学基金(20100858005)

作品数：3 被引量：2H指数：1
相关作者：韩丰田刘云峰王嫘董景新马高印更多>>
相关机构：清华大学北京航天控制仪器研究所更多>>
发文基金：中国航空科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：交通运输工程机械工程更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇交通运输工程
  • 1篇机械工程

主题

  • 2篇体硅
  • 2篇体硅工艺
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 2篇硅工艺
  • 2篇硅
  • 1篇陀螺
  • 1篇陀螺仪
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微机械加速度...
  • 1篇微加速度计
  • 1篇牺牲层
  • 1篇静电陀螺
  • 1篇静电陀螺仪
  • 1篇静电悬浮加速...
  • 1篇机电系统
  • 1篇硅微加速度计
  • 1篇铝
  • 1篇电系统

机构

  • 3篇清华大学
  • 1篇北京航天控制...

作者

  • 3篇韩丰田
  • 2篇董景新
  • 2篇王嫘
  • 2篇刘云峰
  • 1篇马高印

传媒

  • 1篇中国惯性技术...
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2014
  • 2篇2011
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
硅微静电悬浮加速度计实验研究
2014年
硅微静电加速度计将静电悬浮技术与微机械加工工艺相结合,在空间微重力环境下通过降低量程可实现极高的分辨率。设计了一种玻璃—硅—玻璃三明治结构、平行六面体状检测质量、体硅加工工艺、低量程的三轴硅微静电加速度计,分析了加速度计的力平衡回路特性。采用基于DSP的数字控制器,实现了检测质量的六自由度稳定悬浮。在大气环境下测试了静电加速度计的性能。测试结果表明:加速度计x轴的带宽为88.1 Hz,量程为0.220 g n;y轴的带宽为118.2 Hz,量程为0.313 g n;z轴的带宽为10.7 Hz,量程为3.53 g n。
张汉蒸韩丰田孙搏谦马高印
关键词：微机电系统微机械加速度计
微静电陀螺仪的结构设计与工艺实现被引量：1
2011年
为了探索微机械陀螺突破精度极限的新途径,设计了一种基于环形转子、体硅加工工艺、转子5自由度悬浮的硅微静电陀螺仪.采用玻璃-硅-玻璃键合的三明治式微陀螺结构,提出了包括双边光刻、反应离子刻蚀(RIE)、电感耦合等离子体(ICP)刻蚀、玻-硅静电键合、硅片减薄、多层金属溅射等关键工艺的加工路线.在工艺设计中采用铝牺牲层对转子进行约束,在第2次玻-硅键合后再通过湿法去除牺牲层,以得到可自由活动的转子.基于提出的体硅工艺路线,成功加工出了微陀螺敏感结构,并完成了转子5自由度悬浮和加转实验,测试结果表明大气环境下转子转速可达73.3 r/min.
王嫘韩丰田董景新刘云峰
关键词：体硅工艺
三轴硅微静电加速度计的实验研究被引量：1
2011年
静电加速度计依靠可控静电力将敏感质量无接触地悬浮在电极腔内,在空间微重力环境下通过降低带宽和量程可以实现极高的分辨率。设计了一种采用玻璃-硅-玻璃"三明治"结构、环形敏感质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,对加速度计的力/力矩平衡回路进行了分析。采用基于DSP的数字控制器,实现了环形敏感质量的五自由度稳定悬浮,在大气环境下测试了静电加速度计的性能。电测法测试结果表明静电加速度计的轴向量程4.22 g,噪声谱密度0.19 mg/Hz1/2;径向量程4.63 g,噪声谱密度0.44 mg/Hz1/2。
王嫘韩丰田董景新刘云峰
关键词：硅微加速度计体硅工艺
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