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国防科技重点实验室基金(9140C79030106C79)
国防科技重点实验室基金(9140C79030106C79)
- 作品数:1 被引量:11H指数:1
- 相关作者:蔡豪刚刘瑞丁桂甫杨卓青更多>>
- 相关机构:上海交通大学更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划国防科技重点实验室基金更多>>
- 相关领域:机械工程更多>>
- 基于非硅衬底的微机电系统惯性开关的研制被引量:11
- 2009年
- 以非硅表面微加工技术为基础,在玻璃衬底上设计和制造一种简单可靠并有反向冲击保护的单向一次触发微机电系统(Microelectro-mechanical system,MEMS)惯性电学开关。该设计采用连体蛇形弹簧将可动电极(质量块)悬空固定,用挡块作为反向冲击保护,其敏感方向为平行于衬底面的水平方向,整个器件使用成本较低而又方便的叠层电镀镍工艺制作。通过对弹簧-质量块系统运动过程的理论分析和有限元仿真,研究器件阈值加速度与其质量块厚度的关系,并用落锤试验对封装器件的阈值加速度以及峰值为100g(g=9.8m/s2)半正弦冲击下的响应进行了测试,得到该微开关的阈值加速度分布在58g~72g,基本符合预期设计的60g阈值加速度要求,响应时间约为10–4s量级,与有限元仿真结果吻合较好。
- 蔡豪刚杨卓青丁桂甫刘瑞
- 关键词:惯性开关微机电系统仿真