国家重点基础研究发展计划(G1999033109)
- 作品数：25 被引量：108H指数：6
- 相关作者：赵新卢桂章陈晓阳赵江铭张海霞更多>>
- 相关机构：南开大学上海大学北京大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 静电式MEMS光开关新器件设计开发流程
- 2005年
- 在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制电路设计等方面的研究.所提出的设计开发流程也适用于静电驱动的其他器件的开发,如RF-MEMS器件.
- 王凯赵新何维玮卢桂章
- 关键词：优化设计MEMS
- 具有光纤自定位保持结构的2×2扭转微镜光开关阵列的制作和机电特性(英文)被引量：1
- 2002年
- 应用基于表面硅、体硅微电子工艺的混合微加工技术 ,制作了新型 2× 2扭转微镜光开关阵列 ,并研究了其在外加静电场和交变电场中的机电特性 .当该光开关中悬挂多晶硅微镜的弹性扭转梁的厚度约为 1μm时 ,驱动微镜以实现其“开”状态的拐点静电电压为 2 70～ 2 90V ,而维持微镜“开”状态的最低保持电压在 5 5V左右 .理论分析表明 ,在关于该光开关结构的一系列设计参数中 ,拐点静电电压对于弹性扭转梁的厚度最敏感 .该光开关的开关寿命超过 10 8次 ,而其开关时间预计小于 2ms .对单片集成制造在该光开关阵列芯片上的两种新型光纤自定位保持结构的力学分析表明 ,它们具有光纤自固定、自对准的性质 .
- 吴文刚郝一龙栗大超张培玉武国英
- 关键词：微机电系统光开关
- 硅微梳状静电谐振器机械性能试验研究被引量：1
- 2008年
- 设计了多类直脚型、弓型梁和多折叠梁谐振器,测量了各谐振器的品质因子和振幅电压比。结合部分直脚型谐振器的实验结果,建立了半经验公式,并利用弓型梁和多折叠梁谐振器的实验结果进行了验证。结果表明所得公式形式简明,计算结果与实测值吻合较好。
- 赵江铭陈晓阳刘武发杨杰伟王小静
- 关键词：品质因子
- 纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性被引量：25
- 2003年
- 为了研究不同制备工艺对材料力学性能的影响 ,选择了热氧化、LPCVD和PECVD三种典型工艺 ,在硅片上制备 1μm氧化硅薄膜。通过纳米压痕和划痕检测可知 ,热氧化工艺制备的SiO2薄膜的硬度和模量最大 ,LPCVD制备的样品界面结合强度高于PECVD。纳米压痕和划痕技术为此提供了丰富的近表面弹塑性变形和断裂等的信息 。
- 张海霞张泰华郇勇
- 关键词：纳米压痕划痕法力学特性热氧化
- 面向微操作应用的自动寻针、调焦和针尖定位算法及其实现
- 为了提高微操作机器人的自动化程度,本文提出了一套实时在线的方法,实现了自动寻针、自动调焦和自动识别针尖位置。在图像中选取一条扫描线,通过分析这条扫描线上的最小灰度值的变化,来实现微操作机器人的自动调焦和自动寻针;根据此类...
- 张闯卢桂章赵新
- 关键词：自动调焦显微图像微操作机器人
- 文献传递
- 微操作中基于全局视野的显微视频反馈的解决方案
- 本文针对在进行大范围的微操作中,显微视野远小于操作域的问题,提出了将局部显微图像通过采用样条小波结合改进的嵌入式零树编码进行压缩和拼接形成全局视野的解决方案,本研究为大范围显微图像中目标的自动定位及操作提供了崭新的手段。
- 尹昕卢桂章赵新
- 关键词：微操作小波嵌入式零树编码
- 文献传递
- 弓型梁静电硅微谐振器建模与实验
- 2007年
- 根据梁的小变形理论和位移叠加原理,建立了弓型梁微谐振器的横向振动模型,得到了弓型复杂梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式。通过ANSYS软件的模拟分析,及对用体硅工艺制作的两种类型弓型梁谐振器的谐振频率实验实测,表明该谐振器的1阶横向谐振频率的计算值与实测值间的相对误差及ANSYS模拟值与实测值间的相对误差均小于3%,验证了所建模型的正确性。
- 郑艳萍赵江铭刘武发陈晓阳
- 关键词：微谐振器谐振频率
- MEMS设计系统中部件库的定义、描述与原形系统实现
- 针对MEMS设计中设计重用、机械性能评测等问题,提出了包括工艺模型、三维形状以及动态规律等重要信息的部件库系统。文中首先描述了MEMS设计系统中部件及部件库的定义和内容,并根据MEMS器件设计的特点,设计了易于重用管理的...
- 谭宜勇卢桂章赵新
- 关键词：微电子机械系统部件库虚拟现实
- 文献传递
- 合肥光源深X-射线光刻模拟被引量：4
- 2002年
- 论文对合肥同步辐射光源开展深度X 射线光刻进行了理论模拟 .利用Gauss积分法研究了菲涅耳衍射对深度光刻图形精度的影响 .为了模拟衬底产生的光电子对光刻结果的影响 ,构建了一个MonteCarlo模型并进行了模拟 .计算结果表明 。
- 田学红刘刚田扬超张新夷
- 关键词：菲涅耳衍射光电子同步辐射光源
- SU-8的紫外深度光刻模拟被引量：12
- 2002年
- 在微电子机械系统 (MEMS)中 ,大高宽比微结构被广泛应用。由于紫外光衍射效应比较大 ,通过紫外光刻获得高精度的大高度微结构并不容易。本文主要研究了衍射效应对深紫外光刻精度的影响 ,并与实验结果进行了比较 ,理论模拟结果和实验比较吻合。因此 ,通过模拟结果得到不同厚度光刻胶的最佳曝光剂量 。
- 田学红刘刚田扬超张新夷
- 关键词：SU-8紫外光刻MEMS光刻胶
