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国家自然科学基金(20774093)

作品数：1 被引量：12H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇性能研究
  • 1篇溅射
  • 1篇光电
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇山东理工大学

作者

  • 1篇刘汉法
  • 1篇张化福
  • 1篇刘俊成
  • 1篇刘云燕
  • 1篇王辉
  • 1篇袁玉珍

传媒

  • 1篇光电子．激光

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Al-Zr共掺杂ZnO透明导电薄膜制备及光电性能研究被引量：12
2009年
采用直流磁控溅射法,在室温水冷玻璃衬底上制备出Al-Zr共掺杂的ZnO透明导电薄膜。研究结果表明,Ar气压强对Al-Zr共掺杂ZnO透明导电薄膜的结构和电阻率有显著影响。X射线衍射(XRD)表明,Al-Zr共掺杂ZnO透明导电薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有C轴择优取向。扫描电镜(SEM)观察表明,Ar气压强对Al-Zr共掺杂ZnO透明导电薄膜的微观结构影响较大。薄膜的厚度随Ar气压强的增加而变薄,在Ar气压强为2.5Pa时,制备的Al-Zr共掺杂ZnO薄膜电阻率具有最小值1.01×10-3Ω.cm,在可见光区(500～800nm)平均透过率超过93%。
王辉袁玉珍张化福刘汉法刘云燕刘俊成
关键词：磁控溅射
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