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国家自然科学基金(409741107)

作品数：2 被引量：35H指数：2
相关作者：许伟才黄玮杨旺更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程

主题

  • 2篇光学
  • 2篇光学设计
  • 1篇折反射式
  • 1篇投影光刻
  • 1篇投影光刻物镜
  • 1篇系统设计
  • 1篇连续变焦
  • 1篇公差
  • 1篇公差分析
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻物镜
  • 1篇光谱
  • 1篇二级光谱
  • 1篇倍率

机构

  • 2篇中国科学院长...
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 2篇黄玮
  • 2篇许伟才
  • 1篇杨旺

传媒

  • 2篇光学学报

年份

  • 2篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
新型折反射式连续变焦系统设计被引量：14
2011年
针对长焦距、折反射式连续变焦望远系统的设计，提出了一种新的光学结构形式。该结构形式将可变光阑放置于球面主反射镜附近，避免了在变焦部分中使用浮动的可变光阑；然后利用二次成像结构和场镜减小变焦组元的径向尺寸，系统变焦部分仅包含变倍组与补偿组，无需前固定组与后固定组，同时无需使用特种光学材料校正二级光谱，极大降低了系统变焦部分的复杂程度。利用该光学结构形式对一台焦距600～3000mm、最大口径300mm、工作在可见光波段的变焦望远系统进行优化设计，该系统在60lp／mm的调制传递函数（MTF）设计值在所有焦距和视场内均大于0．3。设计结果表明该系统像质良好、制造成本低，适用于工作在可见光波段的长焦距、变焦成像光学系统。
许伟才黄玮
关键词：光学设计二级光谱
投影光刻物镜倍率的公差分析与补偿被引量：21
2011年
为满足严格的套刻需求,双远心结构的投影光刻物镜需要选择恰当的元件移动来进行倍率的补偿和调节。提出了一种简单而实用的方法来进行倍率的公差分析。该方法利用商业优化设计软件和有限差分算法计算了多项公差对物镜倍率的敏感程度,同时结合公差对系统波像差的敏感度选择最佳的倍率补偿元件。利用以上方法,对一台双远心、工作波长193nm以及数值孔径0.75的投影光刻物镜进行了倍率的公差分析和补偿器优选。结果显示,系统较好地实现了±50×10-6的倍率调节功能,而系统波像差劣化程度均方根值小于1.5nm。
许伟才黄玮杨旺
关键词：光学设计倍率公差分析投影光刻物镜
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