北京市自然科学基金(kz200810005003)
- 作品数:4 被引量:2H指数:1
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- 相关机构:中国科学院中国科学院研究生院中国科学院大学更多>>
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- 相关领域:自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 高速高精度SPM研究现状及发展趋势被引量:1
- 2010年
- 如何实现高速高精度的扫描探针显微镜(SPM)扫描已经成为国际上研究的一个热点问题,扫描器动态响应性能的好坏、控制算法的优化以及电子学系统的设计等,都将影响SPM的扫描速度和精度。本文介绍了SPM在半导体工业检测和生物检测等应用中的不足,归纳了国际上对高速SPM研究的主要研究成果,分析了各个研究方法的特点和不足,对实现高速SPM扫描的主要问题进行了概括总结。
- 陈代谢殷伯华林云生初明璋韩立
- 关键词:扫描探针显微镜
- 用于应力应变和疲劳显微分析的原位拉伸系统的研制
- 2011年
- 工业上的应用和材料学的发展客观上要求对材料的力学性能测试进行实时动态观测。本研究部自主研发出了配合扫描电子显微镜的原位拉伸试验系统,成功地实现了对拉伸试验全过程的原位观测和微区分析,并初步具备了原位疲劳试验的功能。该系统使用直流伺服电机驱动机械部分对样品施加拉伸载荷,在基于PC104的嵌入式控制系统中,使用专用PID控制芯片实现电机的闭环控制,并在软件设计中对数据采集、原位保持等关键技术进行了算法优化,以实现较高的精度和稳定性。本文介绍了该系统的机械结构、软硬件组成,并展示了使用该系统对金属材料进行原位拉伸实验得到的数据和结果。该结果为材料的拉伸性能提供了很好的宏观和微观证据。
- 杨洁韩立陈代谢初明璋林云生刘俊标
- 关键词:扫描电子显微镜
- 基于PC104的嵌入式微拉伸台控制系统的研制被引量:1
- 2009年
- 随着材料学研究的发展,需要一种在对材料进行微观检测时进行同步微操作的工具。本文设计了一套基于PC104的嵌入式微拉伸台控制系统,介绍了该系统的硬件组成以及软件编程。采用专用PID控制芯片实现电机的闭环控制,使拉伸台稳定地进行匀速运动。为了实现系统控制的高精度,对数据采集、原位保持等关键技术进行了算法优化。小型化、模块化、低功耗、操作简单等特点,使得本系统只需进行简单地扩展就可广泛应用于数控领域。
- 陈代谢林云生初明璋韩立
- 关键词:PC104嵌入式系统数字控制
- 基于FPGA的悬臂梁品质因数提高方法
- 2009年
- 随着微悬臂梁在信号检测方面的广泛应用,需要一种简单高效的方法来提高微悬臂梁的灵敏度。本文提出一种基于FPGA的数字式提高微悬臂梁品质因数的方法。利用FPGA的可编程数字信号处理功能实现信号的移相,并与可变增益放大、滤波处理模块一起构成正反馈环路。该电路对微悬臂梁的振动能量损耗进行补偿,将微悬臂梁的品质因数提高一个数量级。实验结果表明,该方法简单易行,可显著提高微悬臂梁检测的灵敏度。
- 陈代谢林云生殷伯华韩立
- 关键词:AFMFPGA品质因数