中国科学院知识创新工程重要方向项目(H2K0206)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
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- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 电子束曝光机激光工件台测量系统研究被引量：2
- 2005年
- 由于电子束曝光机采用的修正技术,工件台的测量系统显得十分重要。介绍了电子束曝光机激光定位精密工件台的工作原理,其测量系统首次采用国际先进的HP5527双频激光干涉仪。对测量系统进行了详细的误差分析,在此基础上提出了系统误差的补偿方法。
- 乔俊仙王肇志胡松余国彬
- 关键词：激光干涉仪工件台电子束曝光机误差分析
- 电子束曝光机传输片机械手研制
- 2006年
- 以前的传输片机械手由于采用双浮动滑板结构来实现各个状态的定位,长时间使用易导致机械磨损、弹簧应力疲劳等,出现机械手碰撞片夹或抓不到片等现象,难以实现高精度、高可靠性的定位。研究中的传输片机械手采用卡尔登直线运动机构配合两根导向动轴以达到长期运行的稳定性及可靠性,克服了原传输片机构存在的上述问题,且动作过程有所简化,机构体积大大缩小,动作可靠性和准确度显著提高。介绍了传输片机械手的功能、组成及其结构设计,叙述了传输片机械手的动作原理和系统控制流程。
- 乔俊仙王肇志余国彬
- 关键词：机械手电子束曝光机
