国家自然科学基金(60223001)
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 相关作者：王启明成步文左玉华毛容伟罗丽萍更多>>
- 相关机构：中国科学院北京化工厂清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 硅基1.55μm共振腔增强型探测器(英文)被引量：3
- 2005年
- 报道了一种利用硅乳胶作为键合介质的新型键合技术 .高反射率的SiO2 /Si反射镜预先用PECVD系统生长在硅片上 ,然后键合到InGaAs有源区上 ,键合温度为 35 0℃ ,无需特殊表面处理 ,反射镜的反射率可以高达 99 9%以上 ,制作工艺简单 ,价格便宜 .并获得硅基峰值响应波长为 1 5 4 μm ,量子效率达 2 2 6 %的窄带响应 ,峰值半高宽为 2 7nm .本方法有望用于工业生产 .
- 毛容伟左玉华李传波成步文滕学公罗丽萍张合顺于金中王启明
- 关键词：RCE探测器直接键合INGAAS
- 基于同一外延层结构的10Gb/s单片集成光发射模块(英文)被引量：1
- 2005年
- 利用同一外延层集成工艺方法制作了10Gb/s电吸收调制器/分布反馈(DFB)半导体激光器单片集成光发射模块.在器件中引入增益耦合机制以提高单模成品率,并采用感应耦合等离子体干法刻蚀技术以降低调制器电容.集成器件阈值电流为12mA,在-2V偏置时的消光比为15dB,器件的小信号调制带宽超过10GHz.在10Gb/s 调制速率下经过35km单模光纤传输后,误码率为10-12时的功率代价小于1dB.
- 孙长征熊兵王健蔡鹏飞田建柏罗毅刘宇谢亮张家宝祝宁华
- 关键词：分布反馈激光器电吸收调制器增益耦合
