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国家自然科学基金(50976067)

作品数：5 被引量：7H指数：2
相关作者：王文张彧赵小林丁桂甫梁鑫更多>>
相关机构：上海交通大学上海卫星工程研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 5篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇静电驱动
  • 3篇微泵
  • 1篇低温键合
  • 1篇振膜
  • 1篇特性分析
  • 1篇热固性
  • 1篇黏合
  • 1篇黏合剂
  • 1篇微型阀
  • 1篇吸合
  • 1篇聚酯
  • 1篇键合
  • 1篇共聚
  • 1篇共聚酯
  • 1篇合剂
  • 1篇非中心对称
  • 1篇PI
  • 1篇SI

机构

  • 5篇上海交通大学
  • 1篇上海卫星工程...

作者

  • 5篇王文
  • 4篇丁桂甫
  • 4篇赵小林
  • 4篇张彧
  • 1篇张彧
  • 1篇陈荣
  • 1篇梁鑫

传媒

  • 2篇微纳电子技术
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇传感技术学报
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
Si-PI低温键合黏合剂的研制与性能测试
2012年
根据微机电系统(MEMS)在承压能力与化学稳定性方面的要求,在国外文献的基础上配制得到一种作为Si-聚酰亚胺(PI)低温键合黏合剂的芳香类热固性共聚酯(ATSP)。使用ATSP在不同条件下对Si-PI进行低温键合,确定了适合ATSP键合的温度和压力条件,并对键合面的拉伸强度和化学性能进行测试。测试结果表明,Si-PI键合面的拉伸强度能够达到1.3 MPa以上,完全可以满足MEMS器件在承压能力方面的要求。同时,键合后的ATSP在丙酮、酒精、制冷剂R134a和1-甲基-2-吡咯烷酮等多种试剂中均具有良好的化学稳定性。
张彧王文陈荣赵小林丁桂甫
关键词：低温键合
柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压力性能的影响
2014年
将最小能量法与均匀压力载荷下圆薄膜大变形半解析解相结合,分析了静电驱动柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压升性能的影响。微型阀容积的引入会导致静电驱动振膜微泵的压升出现一定程度的降低,但降低幅度远小于阀门容积对常规定排量泵的影响。微型阀的阀片以柔性薄膜为基片,因此所需的关阀电压远远低于微泵泵腔的驱动电压,从而使静电微泵和微型阀运行的可靠性得到了极大的提高。
张彧王文赵小林丁桂甫
关键词：微泵微型阀静电驱动
静电驱动柔性振膜的吸合特性研究
2015年
对静电驱动柔性振膜的吸合特性进行了理论分析和实验观测。通过理论计算得到了静电驱动下柔性振膜与具有连续曲面的腔体实现完全吸合的吸合电压。完全吸合电压随振膜电极与腔体直径的偏差以及振膜初始应力的增大而增大。同时,通过实验验证了静电驱动下柔性振膜的电极与具有连续曲面的腔体在驱动电压100 V、驱动频率2.5 Hz的条件下能够实现完全吸合。振膜电极与腔体直径的偏差会导致振膜所受静电力以及二者之间的电容能均呈现出明显的不均匀性,因此二者的完全吸合过程呈现出显著的非中心对称特性。
张彧王文赵小林丁桂甫
关键词：静电驱动非中心对称
能量平衡法静电驱动柔性振膜微泵特性分析被引量：3
2016年
从能量平衡的角度建立了静电驱动柔性振膜微泵的平衡方程,基于对压缩过程中振膜动能的考虑,改进了最小能量法压缩模型,结合均匀压力载荷下圆薄膜大挠度形变理论对静电驱动柔性振膜微泵进行理论分析。对振膜与腔体壁面贴合的压缩过程中各能量相互转化的关系进行分析,并与最小能量法模型进行了对比。结果表明,能量平衡法考虑了薄膜振动过程中的动能,故薄膜与腔体具有更大的贴合面积,且以薄膜与腔体完全贴合时作为零应力参考状态降低压缩过程中的薄膜形变势能,计算得到的静电微泵的压缩效率更高,在驱动电压为300 V时,改进的双腔模型中振膜贴合半径为4.06 mm,所得最大压升为87.08 k Pa。基于改进的模型,对双腔微泵压升的影响因素进行讨论,发现降低柔性薄膜厚度会使输出压力有所上升,并且减小腔体表面介电层厚度、减小腔体深度与半径可以有助于提高微泵的压升。
胡院林梁鑫王文张彧
静电驱动振模微泵的理论分析被引量：4
2013年
利用最小能量法和均匀压力载荷下的圆薄膜大变形半解析解相结合的方法,改进了静电驱动柔性振膜微泵的理论分析模型。计算结果表明:考虑圆薄膜的周向应变,利用均匀压力载荷下的圆薄膜大变形半解析解来预测振膜的形状,对微泵的性能有显著的影响,证明了圆薄膜大变形时的周向应变是不可忽略的。同时讨论了介电层厚度、腔体形状和双腔结构对微泵压缩性能的影响。结果表明:采用双腔结构,减小介电层厚度、减小腔体深度、缩小腔体半径,对静电驱动柔性振膜型微泵性能的提高具有积极意义。
张彧王文赵小林丁桂甫
关键词：静电驱动微泵
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