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深圳市科技计划项目(200721)

作品数：1 被引量：8H指数：1
相关作者：徐刚吴玉斌邓元龙李岳峙更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇椭偏测量
  • 1篇外差
  • 1篇外差干涉
  • 1篇误差分析
  • 1篇差分

机构

  • 1篇深圳大学

作者

  • 1篇李岳峙
  • 1篇邓元龙
  • 1篇吴玉斌
  • 1篇徐刚

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
金属反射镜对外差干涉椭偏测量精度的影响被引量：8
2009年
采用声光调制器设计了一种透射式外差干涉椭偏测量系统。实验测量了单层透明氧化铟锡(ITO)膜,膜厚和折射率测量误差分别达8nm和7%。采用琼斯矢量法分析了金属反射镜引起的光束椭偏化对测量结果的影响。从光学系统中移出被测样品得到的标定数据,可以消除金属反射镜本身退偏效应的影响,但无法消除退偏效应和方位角误差共同作用所引入的椭偏参数测量误差。计算结果表明,退偏效应和方位角误差共同作用引入的膜厚测量误差可达4 nm左右,该误差与薄膜参数无关,与方位角误差近似成线性关系。
邓元龙李岳峙吴玉斌徐刚
关键词：误差分析
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