浙江省自然科学基金(Y104494)
- 作品数：2 被引量：5H指数：2
- 相关作者：吕冰海周兆忠赵文宏袁巨龙许秦更多>>
- 相关机构：浙江工业大学湖南大学更多>>
- 发文基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 硬质材料球体新型研磨方式下的工艺优化试验研究被引量：2
- 2008年
- 氮化硅先进陶瓷等硬质材料的球体具有密度小、硬度高、弹性模量高(刚度高)、耐磨损、热膨胀系数低等一系列金属材料没有的优点,被认为是高速、高精度轴承滚动体的最佳材料,但传统的V形槽陶瓷球研磨方式制约着其进一步应用。本文以材料去除率、表面粗糙度和球形误差为评价目标,通过试验研究与数据分析,描述新型研磨方式下,硬质材料球体研磨工艺参数对材料去除率、球度及表面粗糙度的影响,以获得较优的研磨工艺参数,为实际生产中工艺过程的优化提供了一种有效可行的方法。
- 许秦袁巨龙周兆忠吕冰海
- 关键词：田口方法
- 化学机械抛光过程中抛光垫修整的研究被引量：3
- 2007年
- 抛光垫是化学机械抛光(CMP)系统的重要组成部分,具有贮存、输送抛光液等作用,对晶片的去除率和平整度起着至关重要的作用。本文介绍和探讨了CMP过程中抛光垫修整对抛光垫表面结构以及对CMP过程影响规律。研究结果表明,抛光垫与晶片的接触面积、抛光速率、平坦化效果等都受到抛光垫修整的影响。大的修整深度能够获得较高的抛光去除率,而较小的修整深度则更有利于获得较好的平坦化效果。修整效果可以通过修整器的设计、修整工艺参数以及加工参数进行调整。
- 赵文宏周兆忠吕冰海
- 关键词：化学机械抛光抛光垫修整
