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中央高校基本科研业务费专项资金(YWF-11-02-044)

作品数:1 被引量:1H指数:1
相关作者:张秀艳钱建强董全林崔永俊更多>>
相关机构:中北大学北京航空航天大学更多>>
发文基金:中央高校基本科研业务费专项资金国家科技支撑计划更多>>
相关领域:一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇电镜
  • 1篇真空系统
  • 1篇射电
  • 1篇透射电镜
  • 1篇PLC控制
  • 1篇场发射

机构

  • 1篇北京航空航天...
  • 1篇中北大学

作者

  • 1篇崔永俊
  • 1篇董全林
  • 1篇钱建强
  • 1篇张秀艳

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2012
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
场发射透射电镜真空系统的并行自动抽气控制被引量:1
2012年
真空系统是场发射枪透射电镜的重要组成部分。按照场发射枪透射电镜对真空提出的要求,规划了真空系统的构成,设计了抽真空的流程。采用真空泵并行抽气的工作方式,缩短真空抽气时间,提高真空泵的利用率。通过隔离阀的通断实现了真空泵抽气对象的切换,通过计算机程序控制PLC实现了真空的自动抽气。通过测试,能够达到预定的真空度要求。
崔永俊董全林张秀艳钱建强
关键词:PLC控制
共1页<1>
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