深圳市基础研究计划项目(JCYJ20120613112423982)
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
- 相关作者：郑彬龙井华李启文汤华斌林晓东更多>>
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- 发文基金：深圳市基础研究计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电气工程更多>>
- 近红外激光退火晶化CIGS薄膜研究被引量：1
- 2013年
- 利用脉冲激光沉积法在石英基底上沉积铜铟镓硒薄膜为前驱物,采用波长1 064 nm的近红外脉冲激光在不同能量密度下对其进行退火晶化.对薄膜的光学特性、晶体结构和形貌等进行表征分析,结果表明,随着激光能量密度增加,铜铟镓硒薄膜结晶度增加,晶粒尺寸变大,压应力减小,禁带宽度增加.当激光能量密度为325 mJ/cm2时,薄膜的结晶度达最高值29.46%,晶粒尺寸达最大为15.4 nm,压应力最小,薄膜结晶质量最好,过低和过高的能量密度都不利于薄膜的结晶.同时分析了高能量密度时薄膜表面条纹的形成机理.
- 胡居广汤华斌李启文李学金郑彬刘毅龙井华林晓东
- 关键词：薄膜物理激光退火能量密度压应力
