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中央高校基本科研业务费专项资金(DUT11LK46)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
刘欣
骆英民
胡礼中
赵宇
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相关机构:
大连理工大学
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发文基金:
中央高校基本科研业务费专项资金
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张贺秋
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骆英民
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刘欣
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人工晶体学报
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2013
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ZnO微米刺球的CVD法生长及其在压电应力传感器中的应用
被引量:2
2013年
利用化学气相沉积(CVD)方法生长出一种新颖的氧化锌(ZnO)微米刺球状结构,并使用该结构制备出一种新型压电应力传感器件。使用半导体特性分析系统(Keithley 4200)对器件特性进行测试,结果表明该种器件对所施加的应力高度敏感,开关比高达约60,比目前多数ZnO基压电应力传感器件高出数倍,在应力检测和机电开关等领域有很好的应用前景。
刘欣
胡礼中
张贺秋
邱宇
赵宇
骆英民
关键词:
氧化锌
化学气相沉积
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