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教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NCET-06-2010)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：吴浚瀚张玉东方勇纯余冠云更多>>
相关机构：南开大学更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇扫描器
  • 1篇AFM

机构

  • 1篇南开大学

作者

  • 1篇余冠云
  • 1篇方勇纯
  • 1篇张玉东
  • 1篇吴浚瀚

传媒

  • 1篇控制工程

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于变比模型的AFM扫描器迟滞建模与控制被引量：1
2010年
针对迟滞非线性引起的压电扫描器定位不准确问题,提出一种基于变比模型的迟滞前馈控制方法。通过分析原子力显微镜(AFM)扫描图像数据,利用变比模型,对压电扫描器的迟滞非线性进行了准确建模,在此基础上,针对原子力显微镜纳米级表面成像过程中压电扫描器的周期性运动轨迹,设计一种基于逆的前馈控制策略。将所提出的迟滞补偿算法应用于本原CSPM5500系列原子力显微镜系统,实验结果表明这种方法明显减弱了迟滞非线性的影响,有效抑制了图像畸变,提高了AFM系统的成像性能。
张玉东方勇纯余冠云吴浚瀚
关键词：原子力显微镜
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