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国家自然科学基金(90923024)
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
相关作者:
房丰洲
张效栋
程颖
魏桂爽
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相关机构:
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机械科学与技...
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2010
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离轴非球面镜子母同体超精密车削加工法
被引量:4
2010年
离轴非球面镜是高精度测量和制造装备不可或缺的光学器件。目前其制造技术的难点在于同时实现高效和高形状精度的加工。笔者借助"子母同体"结构设计和超精密车削技术实现高精度离轴非球面镜加工。利用该结构设计,借助非球面车削加工可实现多个离轴非球面的加工,并从加工路径优化设计和补偿加工技术的研究方面,论述了提高面形精度的方法。实验结果表明:离轴非球面镜的面形精度P-V可在200nm之内,粗糙度Ra约为6nm。
张效栋
房丰洲
魏桂爽
程颖
关键词:
离轴非球面
超精密加工
车削
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