国家重点实验室开放基金(1004)
- 作品数:3 被引量:21H指数:3
- 相关作者:王立平赵文杰薛群基陈建敏赵文杰更多>>
- 相关机构:中国科学院中国科学院宁波材料技术与工程研究所更多>>
- 发文基金:国家重点实验室开放基金浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学机械工程金属学及工艺更多>>
- 规则织构化硅片表面的制备及其润湿行为被引量:10
- 2011年
- 采用感应耦合等离子体刻蚀技术实现了不同形状和几何参数的规则织构化硅片表面的构筑与制备。主要以三种典型的规则织构包括圆柱状、圆坑状和沟槽状表面为研究对象,系统考察了织构形状和几何参数对表面润湿行为的影响规律。研究结果表明:随着织构高度、深度和表面覆盖率的增加,规则织构化硅片表面疏水性能增强,规则织构化表面疏水性能随着表面粗糙度的增加而增强。不同的几何形貌对硅片表面接触角的影响强度是不同的,相对于柱状与沟槽状织构,坑状织构在较小的表面粗糙度时可得到较大的接触角。当表面的接触角均为101°时,坑状、柱状、沟槽状织构的表面粗糙度分别为16.2 nm,29.2 nm和70.2 nm。
- 赵文杰曾志翔王立平陈建敏薛群基
- 关键词:润湿性
- 单/双咪唑环阳离子结构对离子液体薄膜微/纳摩擦学性能的影响被引量:4
- 2012年
- 粘着、摩擦和磨损是影响微/纳机电器件稳定性和寿命的关键因素。利用浸渍-提拉法在硅基底上制备了两种具有单、双咪唑环阳离子结构的离子液体薄膜。采用热重分析仪评价了离子液体的热稳定性。利用原子力显微镜测定了薄膜的表面形貌和纳米摩擦学性能。利用球-盘式摩擦试验机考察了载荷和频率对薄膜的微摩擦学性质的影响。对比分析了基于不同阳离子结构的薄膜的微/纳摩擦学性能。结果表明:两种离子液体薄膜的纳米摩擦力随着原子力针尖扫描频率的增加而增加,且[BMIM]PF6薄膜的摩擦力低于2[BMIM]PF6薄膜。此外,[BMIM]PF6薄膜的微摩擦系数低于2[BMIM]PF6。因此,离子液体的阳离子结构对其作为薄膜的微/纳摩擦学性能有重要影响。
- 赵文杰赵文杰王永欣王立平王立平薛群基
- 关键词:离子液体粘着力
- 铝掺杂类石墨薄膜的构筑及其摩擦学性能研究被引量:7
- 2011年
- 利用磁控溅射技术在硅片表面上制备铝掺杂类石墨(Graphite-like carbon,GLC)薄膜,采用原子力显微镜、场发射扫描电镜、X射线光电子能谱仪、纳米压痕仪等考察铝掺杂对薄膜表面形貌、结构及其机械性能的影响规律;利用旋转的球-盘微摩擦试验机考察薄膜的摩擦行为。结果表明:铝的引入使GLC薄膜表面更加平整、致密;GLC薄膜的硬度和弹性模量随着掺铝量的增加而增加;低载低速时,薄膜摩擦因数随着铝含量的增加而增加,高载高速时,摩擦因数随铝掺入量的增加明显降低且更稳定。
- 赵文杰赵文杰王永欣乌学东陈建敏薛群基
- 关键词:AL掺杂机械性能