国家自然科学基金(50872010)
- 作品数：4 被引量：14H指数：3
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- 相关机构：北京科技大学北京石油化工学院更多>>
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- 相关领域：一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>
- 贫氢富氩气氛下超纳米金刚石薄膜的生长(英文)被引量：6
- 2013年
- 利用微波等离子气相沉积法在5%～20%的氢气浓度下,制备出了超纳米金刚石薄膜(UNCD)。利用扫描电子显微镜、XRD、表面轮廓仪及拉曼光谱研究了氢气浓度对超纳米金刚石薄膜的微结构、形貌、以及相组成的影响。结果表明,随着氢气浓度的增加,晶粒粒径及粗糙度都明显增加变大;在不大于10%的氢气浓度气氛下,可以发现晶粒粒径下降到6nm,甚至更低;即便氢气浓度达到20%,晶粒粒径仍然小于10 nm。讨论了在富氩气氛下沉积的UNCD的实验结果以及沉积机制。这种极其光滑的UNCD薄膜有望在医疗,声表面波器件以及微机电系统,尤其是在重载和恶劣环境下作为超级密封材料的应用。
- 刘杰黑立富陈广超李成明唐伟忠吕反修
- 化学气相沉积金刚石膜工具研究进展及产业化趋势被引量：3
- 2009年
- 20多年来,CVD金刚石厚膜焊接工具和薄膜涂层工具的研究都已取得了十分显著的进展,关键性的技术问题已经基本解决,相关产品已经得到实际应用,近年来在国内外均已出现CVD金刚石工具产业,并已经形成了一定的市场规模。
- 吕反修
- 关键词：化学气相沉积金刚石膜金刚石工具
- 金刚石薄膜断裂强度及形貌分析被引量：3
- 2010年
- 金刚石薄膜以其优异的性能成为许多行业不可或缺的功能材料,但因金刚石薄膜制备质量差、不稳定,导致金刚石薄膜力学性能的研究一直处于探索阶段,没有得出系统全面的结论。本文利用金刚石力学试验机对自支撑金刚石薄膜断裂强度与薄膜沉积厚度、抛光与否之间的关系进行了研究,利用扫描电子显微镜SEM对金刚石薄膜的表面和断口形貌进行了分析。研究表明,自支撑金刚石薄膜断裂主要是解离断裂,且其断裂强度随着沉积厚度的增加而减低,自支撑金刚石薄膜是否经过抛光对其断裂强度的大小有显著影响。
- 陈飞陈良贤郭世斌李成明吕反修
- 关键词：形貌分析
- CVD金刚石自支撑膜的力学性能被引量：2
- 2011年
- CVD金刚石自支撑膜已经作为一种崭新的工程材料出现,其应用日益广泛,急切需要对其力学行为进行深入了解。为此对有关金刚石膜的断裂强度和断裂韧度的研究,以及金刚石膜的断裂机制进行了详尽的论述。简略介绍了金刚石膜的断裂强度和断裂韧度的测试方法,给出了典型的测试数据。最后就如何提高金刚石膜的力学性能和更好地应用这种新型工程材料提出了建议。
- 吕反修宋建华唐伟忠黑立富李成明陈广超
- 关键词：力学性能断裂韧度
