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江苏省高校自然科学研究项目(10KJA40048)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：朱新生胡进更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇光刻
  • 1篇干膜

机构

  • 1篇苏州大学

作者

  • 1篇胡进
  • 1篇朱新生

传媒

  • 1篇苏州大学学报...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用于微电子机械系统的干膜光刻工艺研究被引量：4
2011年
干膜光阻的光刻工艺因简单廉价,正在逐渐替代传统的光刻工艺.本文针对干膜光刻的贴膜、曝光和显影等工艺参数进行优化,并将其应用于深槽刻蚀.试验结果表明:整套工艺过程简单可靠,几何尺寸控制良好,产品质量高.
朱昊枢胡进朱新生
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