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江苏省高校自然科学研究项目(10KJA40048)
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
相关作者:
朱新生
胡进
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相关机构:
苏州大学
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发文基金:
江苏省高校自然科学研究项目
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相关领域:
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2011
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用于微电子机械系统的干膜光刻工艺研究
被引量:4
2011年
干膜光阻的光刻工艺因简单廉价,正在逐渐替代传统的光刻工艺.本文针对干膜光刻的贴膜、曝光和显影等工艺参数进行优化,并将其应用于深槽刻蚀.试验结果表明:整套工艺过程简单可靠,几何尺寸控制良好,产品质量高.
朱昊枢
胡进
朱新生
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