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中国科学院“百人计划”(ZJ00Y18D)

作品数：2 被引量：11H指数：2
相关作者：刘益春李炳生申德振刘毅南楚振生更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所扬州大学更多>>
发文基金：中国科学院“百人计划”国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学

主题

  • 2篇氧化锌
  • 2篇氧化锌薄膜
  • 1篇等离子体增强
  • 1篇等离子体增强...
  • 1篇氧化碳
  • 1篇透射
  • 1篇透射谱
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇光谱
  • 1篇光致
  • 1篇光致发光
  • 1篇光致发光谱
  • 1篇二氧化碳
  • 1篇发光
  • 1篇锌

机构

  • 2篇中国科学院长...
  • 1篇扬州大学

作者

  • 2篇申德振
  • 2篇李炳生
  • 2篇刘益春
  • 1篇范希武
  • 1篇楚振生
  • 1篇张金波
  • 1篇赵新丽
  • 1篇刘毅南

传媒

  • 1篇发光学报
  • 1篇扬州大学学报...

年份

  • 1篇2006
  • 1篇2000
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
用锌金属有机源和二氧化碳等离子体增强化学气相沉积的方法制备高质量氧化锌薄膜被引量：7
2000年
报道了用金属锌有机源和二氧化碳混合气源等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)的方法成功地制备高质量择优取向 (0 0 0 2 )的ZnO薄膜。通过X ray衍射谱进行了结构分析得到六方结构 ,择优取向 ,晶粒尺寸大约在 2 2 0nm。并通过原子力显微镜分析更进一步验证了晶粒的尺寸。通过透射谱分析观察到了典型的激子吸收线。这种方法的特点是可以在低温条件下在任何衬底上生长大面积均匀性好。
楚振生李炳生刘益春申德振范希武刘毅南
关键词：氧化锌等离子体增强化学气相沉积
等离子体增强化学气相沉积法制备氧化锌薄膜被引量：4
2006年
通过引入金属有机源——二乙基锌和二氧化碳,用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法在低温下制备高质量(002)取向的氧化锌薄膜,详细研究了衬底温度对薄膜质量的影响.实验发现,衬底温度对氧化锌的取向性和晶粒的大小都有显著的影响.随着温度的提高,氧化锌的取向性增强,温度为230℃时得到单一(002)取向的六角结构的氧化锌薄膜,其XRD的半高宽为0.26.°从其透射谱可以观察到典型的激子吸收线,从光致发光谱上可以观察到一个强而窄(半高宽度大约为125 m eV)的3.26 eV紫外激子发射.
张金波赵新丽李炳生刘益春申德振
关键词：氧化锌光致发光谱透射谱
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