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浙江省公益性技术应用研究计划项目(2012C21012)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：罗剑波王惠姣王俊茹赵新龙更多>>
相关机构：浙江理工大学更多>>
发文基金：浙江省公益性技术应用研究计划项目浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇定位控制

机构

  • 1篇浙江理工大学

作者

  • 1篇赵新龙
  • 1篇王俊茹
  • 1篇王惠姣
  • 1篇罗剑波

传媒

  • 1篇浙江理工大学...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
曲面激光直写中的光焦点定位控制
2013年
探讨了曲面激光直写系统中的光焦点定位控制方法。曲面激光直写中光焦点的定位控制要求定位范围毫米级,而定位精度则在亚微米级,因此选用了宏/微双驱动系统。对宏/微双驱动系统进行了动力学建模,并进行了分析。探讨宏/微双驱动系统在直写光刻中的控制方法,对所设计的宏/微双驱动系统进行了实际的测试实验。结果表明:所设计的宏/微双驱动系统在曲面激光直写系统中是可行且有效的。
王俊茹罗剑波赵新龙王惠姣
关键词：定位控制
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