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浙江省公益性技术应用研究计划项目(2012C21012)
作品数:
1
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相关作者:
罗剑波
王惠姣
王俊茹
赵新龙
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相关机构:
浙江理工大学
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发文基金:
浙江省公益性技术应用研究计划项目
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相关领域:
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曲面激光直写中的光焦点定位控制
2013年
探讨了曲面激光直写系统中的光焦点定位控制方法。曲面激光直写中光焦点的定位控制要求定位范围毫米级,而定位精度则在亚微米级,因此选用了宏/微双驱动系统。对宏/微双驱动系统进行了动力学建模,并进行了分析。探讨宏/微双驱动系统在直写光刻中的控制方法,对所设计的宏/微双驱动系统进行了实际的测试实验。结果表明:所设计的宏/微双驱动系统在曲面激光直写系统中是可行且有效的。
王俊茹
罗剑波
赵新龙
王惠姣
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定位控制
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