您的位置： 专家智库 > >

中央高校基本科研业务费专项资金(WLYJSBJRCTD201102)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：曾庆文蔡从中皇思洁更多>>
相关机构：重庆大学更多>>
发文基金：重庆市自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
相关领域：理学自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 1篇多层膜
  • 1篇支持向量
  • 1篇支持向量回归
  • 1篇向量
  • 1篇脉冲激光
  • 1篇脉冲激光沉积
  • 1篇SVR
  • 1篇ALN
  • 1篇TIN

机构

  • 1篇重庆大学

作者

  • 1篇皇思洁
  • 1篇蔡从中
  • 1篇曾庆文

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
基于SVR的脉冲激光沉积TiN/AlN多层薄膜的工艺优化被引量：2
2013年
根据脉冲激光沉积(PLD)法在单晶Si试样表面沉积制备多层TiN/AlN硬质膜实验数据,应用基于粒子群算法(PSO)寻优的支持向量回归(SVR)方法,建立不同工艺参数下沉积的TiN/AlN多层膜的AlN膜厚及TiN薄膜硬度的SVR预测模型。在相同的训练与测试样本集下,将SVR所得的AlN膜厚预测值与免疫径向基函数(IRBF)神经网络的计算结果进行比较。结果表明,SVR模型训练和预测结果的平均绝对百分误差要比IRBFNN模型的小,其预测精度更高,预测效果更好。应用SVR的TiN薄膜硬度模型对PLD法沉积TiN薄膜的工艺参数进行了优化,分析了多因素对PLD法沉积TiN薄膜硬度的交互作用和影响。该方法可为人们利用PLD法沉积TiN/AlN多层功能薄膜提供科学的理论指导,具有重要的理论意义和实用价值。
皇思洁蔡从中曾庆文
关键词：脉冲激光沉积TIN支持向量回归
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0