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山东省自然科学基金(2009ZRB019DZ)
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
相关作者:
陈志华
王凤翔
宋红莲
卢菲
齐俊鹤
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山东建筑大学
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发文基金:
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2012
1篇
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Er^+注入Yb掺杂的ZnO波导膜的光学及结构特性研究
2012年
利用射频磁控溅射技术在蓝宝石衬底上沉积ZnO:Yb光波导薄膜,然后用离子注入技术将能量为200keV的Er+离子注入薄膜中,剂量为1×1015ions/cm2。应用棱镜耦合技术、卢瑟福背散射(RBS)技术、X射线衍射(XRD)技术和荧光光谱等技术研究了薄膜的波导性质、基本结构、厚度、组分、Er+的射程情况及光学频率上转换性质。实验发现掺杂Yb和Er的薄膜可以形成光波导结构,但波导质量较纯ZnO波导膜差,膜的有效折射率及沉积速率随Yb掺杂量增加有减小趋势;薄膜呈ZnO高度c—轴取向生长,Yb和Er能有效掺杂进ZnO晶格,ZnO晶格常数受Yb掺杂量的不同而变化;在980nm激光激发下没有发现在300~720nm间的光学频率上转换。
齐俊鹤
王凤翔
卢菲
陈志华
宋红莲
关键词:
离子注入
ZNO
ER
YB
在蓝宝石、MgO衬底上ZnO波导膜的制备
被引量:3
2011年
以ZnO烧结陶瓷为靶材,应用射频磁控溅射技术在(001)蓝宝石、(100)MgO衬底上制备ZnO波导薄膜。利用棱镜耦合、X射线衍射、RBS背散射分析等技术研究了所沉积薄膜的光波导及内部结构信息。结果表明:在两种衬底上所沉积的ZnO薄膜可以形成优良的平面光波导结构;薄膜结晶状况为存在少量其他晶向的c轴择优取向;薄膜含有的Zn及O组分原子数比例为近化学计量比;薄膜的沉积速率受衬底材料表面能作用轻微影响;薄膜的有效折射率较ZnO体材料小且受衬底材料影响。生长在蓝宝石衬底上ZnO薄膜的平均晶粒尺寸较在MgO衬底上的小,且其随膜厚的增加无明显变化,但在MgO衬底上晶粒尺寸则随膜厚的增加有增大趋势。
王凤翔
齐俊鹤
卢菲
刘秀红
李爽
陈志华
宋红莲
关键词:
磁控溅射
蓝宝石
MGO
ZNO薄膜
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