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山东省自然科学基金(2009ZRB019DZ)

作品数：2 被引量：3H指数：1
相关作者：陈志华王凤翔宋红莲卢菲齐俊鹤更多>>
相关机构：山东建筑大学山东大学更多>>
发文基金：山东省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学

主题

  • 2篇ZNO
  • 2篇波导
  • 1篇离子注入
  • 1篇蓝宝
  • 1篇蓝宝石
  • 1篇溅射
  • 1篇光学
  • 1篇YB
  • 1篇ER
  • 1篇MGO
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 2篇山东大学
  • 2篇山东建筑大学

作者

  • 2篇齐俊鹤
  • 2篇卢菲
  • 2篇宋红莲
  • 2篇王凤翔
  • 2篇陈志华
  • 1篇刘秀红
  • 1篇李爽

传媒

  • 2篇山东建筑大学...

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
Er^+注入Yb掺杂的ZnO波导膜的光学及结构特性研究
2012年
利用射频磁控溅射技术在蓝宝石衬底上沉积ZnO:Yb光波导薄膜,然后用离子注入技术将能量为200keV的Er+离子注入薄膜中,剂量为1×1015ions/cm2。应用棱镜耦合技术、卢瑟福背散射(RBS)技术、X射线衍射(XRD)技术和荧光光谱等技术研究了薄膜的波导性质、基本结构、厚度、组分、Er+的射程情况及光学频率上转换性质。实验发现掺杂Yb和Er的薄膜可以形成光波导结构,但波导质量较纯ZnO波导膜差,膜的有效折射率及沉积速率随Yb掺杂量增加有减小趋势;薄膜呈ZnO高度c—轴取向生长,Yb和Er能有效掺杂进ZnO晶格,ZnO晶格常数受Yb掺杂量的不同而变化;在980nm激光激发下没有发现在300～720nm间的光学频率上转换。
齐俊鹤王凤翔卢菲陈志华宋红莲
关键词：离子注入ZNOERYB
在蓝宝石、MgO衬底上ZnO波导膜的制备被引量：3
2011年
以ZnO烧结陶瓷为靶材,应用射频磁控溅射技术在(001)蓝宝石、(100)MgO衬底上制备ZnO波导薄膜。利用棱镜耦合、X射线衍射、RBS背散射分析等技术研究了所沉积薄膜的光波导及内部结构信息。结果表明:在两种衬底上所沉积的ZnO薄膜可以形成优良的平面光波导结构;薄膜结晶状况为存在少量其他晶向的c轴择优取向;薄膜含有的Zn及O组分原子数比例为近化学计量比;薄膜的沉积速率受衬底材料表面能作用轻微影响;薄膜的有效折射率较ZnO体材料小且受衬底材料影响。生长在蓝宝石衬底上ZnO薄膜的平均晶粒尺寸较在MgO衬底上的小,且其随膜厚的增加无明显变化,但在MgO衬底上晶粒尺寸则随膜厚的增加有增大趋势。
王凤翔齐俊鹤卢菲刘秀红李爽陈志华宋红莲
关键词：磁控溅射蓝宝石MGOZNO薄膜
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