江苏省普通高校研究生科研创新计划项目(xm06-44)
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
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- 相关机构：南京航空航天大学更多>>
- 发文基金：江苏省普通高校研究生科研创新计划项目博士研究生创新基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 大尺寸金刚石膜生长中等离子体弧源的稳定性
- 2007年
- 保持等离子体弧源稳定性对于制备大尺寸平面金刚石膜极其重要,故从理论和实验两个方面对等离子体弧源稳定性进行了分析。研究表明,为了保持弧源的稳定,必须在生长过程中,保持稳定的电子温度和均匀的活性原子及原子基团密度。金刚石膜在某些条件下长时间生长时,会发生阳极环积碳现象,导致等离子体弧源扰动失稳,从而引起生长的金刚石膜含有石墨杂质。通过预处理阳极环、控制碳源、加大氢气量等措施可保持弧源稳定。在此条件下生长金刚石膜,经SEM,Raman分析表明,其晶粒均匀、晶界清晰,仅有金刚石特征峰出现。
- 李多生左敦稳陈荣发相炳坤赵礼刚
- 关键词：等离子体化学气相沉积
