山东省自然科学基金(ZR2009BM011)
- 作品数：3 被引量：42H指数：3
- 相关作者：陈光辉李建隆王伟文张攀吴玉雷更多>>
- 相关机构：青岛科技大学更多>>
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- 相关领域：化学工程一般工业技术更多>>
- 流态化过程模拟的研究进展被引量：15
- 2011年
- 综述了欧拉-欧拉模型和欧拉-拉格朗日模型流态化过程的CFD数值模拟,并对流态化模型做了简单评价。同时介绍了青岛科技大学化学工程研究所对自由流化床、沉浸管流化床进行的数值模拟及应用实例。并且依据模拟结果对流化床内部结构进行了改进,增强了流化床内的传质及传热效果。
- 王伟文周忠涛陈光辉李建隆
- 关键词：流态化
- 三维还原炉内多晶硅化学气相沉积的数值模拟被引量：13
- 2012年
- 建立描述SiHCl3—H2系统中混合气体的动量、热量和质量同时传递,且耦合气体反应、表面反应的模型,研究利用计算流体力学CFD(Computational Fluid Mechanics)软件Fluent6.2结合物质传递和反应模型,数值模拟三维还原炉内物质分布规律、热传递现象和多晶硅的沉积特性。计算结果表明,随气体流量、硅棒表面温度和操作压力的增加,硅沉积速率增长。理论研究结果对优化现有12对棒还原炉工艺参数和设计新型、大直径还原炉具有理论指导意义。
- 张攀王伟文范军领陈光辉李建隆
- 关键词：化学气相沉积数值模拟还原炉多晶硅
- 三氯氢硅和氢气系统中多晶硅化学气相沉积的数值模拟被引量：20
- 2010年
- 本文建立了三氯氢硅和氢气系统中混合气体动量、热量和质量同时传递,并且耦合气相反应、表面反应的多晶硅气相沉积模型,利用流体力学计算软件(Computational Fluid Mechanics,CFD)Fluent6.2数值分析了气体进口速率、反应压力、表面温度和气体组成对硅化学气相沉积特性的影响,数值结果表明计算结果与相关实验数据吻合较好。分析表明在一定的条件下,硅沉积速率随温度、压力的升高而增加,在氢气浓度较高的情况下,硅沉积速率随氢气浓度增加而线性地降低。
- 张攀王伟文董海红吴玉雷陈光辉李建隆
- 关键词：化学气相沉积数值模拟多晶硅
