江苏省高校自然科学研究项目(11KJB510006)
- 作品数：2 被引量：21H指数：2
- 相关作者：夏巍王鸣郝辉刘强李春成更多>>
- 相关机构：南京师范大学更多>>
- 发文基金：江苏省普通高校研究生科研创新计划项目江苏省高校自然科学研究项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 相位调制型激光自混合干涉仪的动态特性分析及测试被引量：6
- 2011年
- 为了提高激光自混合干涉仪在位移测量中的精度,将相位调制技术引入激光自混合干涉系统中,通过在激光器的外腔中放置的电光调制器对光束进行正弦相位调制,采用傅里叶变换在频域中重构自混合干涉信号的相位。采用截止阶数的方法对系统的动态测量范围上限进行了理论分析,获得了正确解调相位所需的电光晶体的最低调制频率与被测振动的频率和振幅的关系。将系统应用于高精度商用压电陶瓷的振动过程的测量,测量数据与Agilent 5529A动态校准仪的同步测量结果进行比对,结果表明,相位调制型激光自混合干涉仪适合于动态信号的实时测量,位移测量精度可达20nm。
- 夏巍郝辉王峰王鸣郭冬梅郭文华
- 关键词：自混合干涉动态范围正弦相位调制
- 基于F-P腔强度解调的微位移传感器被引量：15
- 2014年
- 基于一次谐波腔长锁定技术,设计了一种基于法布里-珀罗(F-P)腔干涉的强度解调型微位移传感器。系统对F-P腔的初始腔长进行动态锁定,通过将F-P腔腔长的微小变化转化为强度信号,实现直接快速地对待测目标的微位移进行测量。详细地阐述了位移传感器的理论模型及一次谐波锁定F-P腔腔长的技术方案,实验中采用商用的高精度压电陶瓷平移台(PZT)模拟了实际物体的运动状态,实验结果表明,该系统对峰峰值在λ/4(λ为光波波长)以内、频率不高于400Hz的微位移有很好的测量结果,频率误差小于0.5Hz,测量精度小于1nm。
- 李春成王鸣夏巍刘强郝辉
- 关键词：传感器微位移
